Thermal vacuum sensors based on integrated silicon thermopiles: = Thermische vacuum sensoren op basis van geintegreerde silicium thermozuilen
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Herwaarden, Alexander W. van (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: 1987
Schlagworte:
Beschreibung:Delft, Techn. Univ., Diss., 1987
Beschreibung:XIV, 162 S. Ill., graph. Darst.

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