Rausch, N. (1993). Chemische Gasphasenabscheidung und Charakterisierung von Tantalpentoxid-Schichten.
Chicago Style (17th ed.) CitationRausch, Norbert. Chemische Gasphasenabscheidung Und Charakterisierung Von Tantalpentoxid-Schichten. 1993.
MLA (9th ed.) CitationRausch, Norbert. Chemische Gasphasenabscheidung Und Charakterisierung Von Tantalpentoxid-Schichten. 1993.
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