Tendenzen in der Entwicklung, Konstruktion und Anwendung der Feinwerktechnik und Mikrotechnik: 38. Internationales wissenschaftliches Kolloquium der Technischen Universität Ilmenau ; [Tagungsband]
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Ilmenau
Techn. Univ. Ilmenau
1993
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INHALT
Seite
PLENARVORTRÄGE
Tendenzen in der
Mikro-
und Feinwerktechnik
Kallenbach, E.
Mechatronik - Systemintegration 3
Löwe, H./ Ehrfeld, W.
Herstellung dreidimensionaler
Mikrostrukturen
durch Tiefenlithographie,
Galvanoformung und Abformung (LiGA-Technik) 20
Schilling, MV Nönnig, R.
Justierung in der Feinwerktechnik 33
Krause, W./ Rohrs, G.
Recycling-Herausforderung für die Konstruktion 45
Vogel, P.
Maßnahmen zur Verringerung des Produktionshaftungsrisikos in der
Feinwerktechnik 63
VORTRAGSREIHE A.l
Präzisionsantriebe
Snitka,
V./
Mizariene,
V.
Ultrasonic Drives and Sensors
for Precision Positioning
68
Latyew,
S./
Ditsch,
L./
Malamed,
E.
Ein Präzisionszweikoordinatentisch für den Maschinenbau und
die Mikroelektronik 75
Kiesewetter. L.
Konstruktionsregeln und Dimensionierung magnetostritiver Aktuatoren 84
Kostadinov, K.
Accommodation control of the drive dynamic accuracy for positioning
robots
100
Markert, J.
Elektrostatische
ID-
und
ŽD-Mikroaktuatoren
108
Petrik, O.
Mechatronische
Strukturen 119
IV
Seite
VORTRAGSREIHE A.2
Präzisionsantriebe
Stölting, H.-D./ Hoppenstedt, R.
Glockenläufermototen - Eigenschaften, Anwendung, Berechnung 130
Räumschüssel, E.
Modellierung und Simulation von Schrittmotorantrieben 138
Karpovich, S./ Mezhinsky, Y./ Tsemkalo, W.
Linear
stepping motor: modelling problems and estimation
of performances
151
Martin,
CA./ Weingärtner, W.L./ Stöterau, R.L./ Lichtblau,
M.
Ultrapräzises lineares Positioniersystem 154
Georgiev,
К.
Design
and simulation of adaptive modules for precise assembly
163
Jaszczuk, W.
Hocheffektive automatische Meßstationen zur Untersuchung der
Eigenschaften von Mikromotoren und Elektromagneten 170
Löwe,
В./
Schaffe!, Ch./ Schober, U.
Integrierte Mehrkoordinatenmeßsysteme für Planarmotoren 187
VORTRAGSREIHE
В
Mikrotechnik/ Fertigung
Schwesinger, N./
Tvarozek, V./ Novotný.
I. Sutta, P./
Rößner, K.
Zinkoxidschichten für niedrigfrequente Anwendungen 206
Vanek, O.. Schwesinger. N. Grmanova.
Α./
Hotovy. I./
Sandig,
T./
Racko,
J./ Badura. L.
Herstellung spannungsarmer
SijN,,-Membranen
für Anwendungen in
der Mikrotechnik 218
Demian.
T./
lonascu. G. Antonescu. S.
High Precision and Small
Dimension
Pieces Achievements by
Material Addition 226
Schaller,
T.,
Lindner, G.. Bier. W./ Schubert. K.
Mechanische Strukturierung metallischer Oberflächen 229
Seite
Schmidt, MV Ehrfeld,
W./
Lacher,
M./
Lehr,
H./
Schenk,
R.
Röntgentiefenlithographie als Formgebungsprozeß bei der
Herstellung von
Mikrosystemen
237
Schmidt, K./ Hülsenberg, D./ Eckstein, M/ Harnisch. A.
Mikrostrukturierung von Glas 249
Sträube,
В./
Hülsenberg, D./ Horst, J.
Entwicklung mikrostrukturierbarer Gläser 258
Langenbeck. P.
Nano-Drive
-
a new kind of air-bearing based transmission gear
266
VORTRAGSREIHE
С
Mikrotechnik/
Funktionselemente
Leßmöllmann,
Ch./
Feiertag, R.
Handhabung und Qualitätssicherung bei
Mikrostrukturen
274
Hecht, S./ Schwesinger, N./ Wurmus, H.
Untersuchungen am Tintenstrahldruckkopf
PK 22N
288
Kurth, S.
Meßtechnische Systemidentifikation beweglicher mikro¬
mechanischer Elemente 301
Schilling, C/ Wurmus, H./ Quast,
V./
Wauro, F.
Die Komplexität biotischer Systeme - eine Herausforderung
für die Mikrosystemtechnik 315
Philippov, Ph.
Entwicklungstendenzend bei der Produktion von Dünnschicht¬
magnetköpfen 329
Schmidt. K.-H.
Mikro-Montage im Rasterelektronenmikroskop, dargestellt am
Beispiel Nadelsensor 330
Besocke. K.-H.
Mikromanipulatoren für die Raster Tunnel Mikroskopie 338
Antrack. T.
Profilermittluns an Strukturkanten mit einem
Atomic
Force Profiler 344
VI
Seite
VORTRAGSREIHE D
Konstruktionstechnik/
CAD
Wächtler,
R.
Elektronische Drucksysteme - die Rolle des Konstrukteurs im
Entwicklungsprozeß 355
Höhne, G.
Verbindung von Konstruktionsmethodik und CAD in der Feinwerktechnik 364
Langbein,
P./
Fricke, J.
Funktionsorientierte Datenbank für die Produktentwicklung 374
Weiß, M./ Zimmermann, K.
Automatische NC-Code-Erzeugung für das Laserschneiden 381
Detter, H.
Mögliche Märkte für Produkte der
Mikro-
und Feinwerktechnik 391
Mitschunas,
В./
Richter, W.
Rechnerunterstützte Modellierung der kollinearen Abbildung 411
Tatarinov, A.G.
Programmsystem CADMS zur Projektierung von optisch-mecha¬
nischen Geräten 416
Hiev, I.K.
Automatisches Konstruieren von Miniaturzahnradgetrieben mit
Hilfe von PC 420
VORTRAGSREIHE
E
Mikrotechnik/ Entwicklung
Heim, U.
Simulation des naßchemischen Ätzens 424
Mehner, J.
Simulation von
Mikrosystemen
unter dem Einfluß von gekoppelten
Feldern mit
FEM
429
Papp, K.L. Klaaßen. B.
Multi-Level-Simulation von Mikrosvstemen 442
VII
Seite
Albrecht,
Α.
Synthese von Mikroaktuatoren 447
Schorcht, H.-JV Meissner, MV Wauro, F.
Federn in mikromechanischen Strukturen 462
VORTRAGSREIHE
F
Feinwerktechnik
Bernst, R.
Die Dimensionsstabilität von Präzisionsteilen aus der Sicht der
Werkstofftechnik 475
Fischer, PV Schachtschabel. MV Winterrot J.
Toleranzverteilung zwischen feinmechanischen und optischen
Komponenten eines Gerätes und deren Auswirkungen auf
Funktion und Aufwand 486
Ge, ZV
Cao,
Ζ.
Schnelles Digitalnivellier mit elektronischer Horizontierungs-
korrektur 490
Vollbarth, J.
Zahnriemengetriebe für die Lineartechnik 495
Jung, A.
Das
Thermobile
- Analyse der Zusammenhänge von Gestalt und Funktion
einer seltsamen Maschine 503
Chakarov, D.
Investigations on
the mechanics of parallel manipulators with
controlled compliance
516
Huba,
A.
Mechatronischer
Schwingungsisolator für die Ultrapräzisionstechnik 521
Janowska. J.
Einfluß der zeitveränderlichen Größen Geschwindigkeit und oder Be¬
lastung auf die Reibung in feinwerktechnischen Gleitlagern 530
VIII
Seite
VORTRAGSREIHE
G
Meßtechnik
Latyew,
S.M./ Ditsch, LZ.
Untersuchung der Leistungsfähigkeit des neuen stellungsempfindlichen
Fotoempfángers/ Multiskan
bei der Registrierung linearer Verschie¬
bungen (Lageveränderungen) 540
Brückner,
P./
Kühn,
О.
CCD-Zeilenkamera für die berührungslose Präzisionsbildaufnahme 547
Miluschev, M.
Dreidimensionale Information mittels ID-Bilderfassung und Ultra¬
schallsensor 562
Halamai, A./ Molnár,
L./ Huba,
Α.
Ein mechatronisches Meßgerät für die Messung von Mikromotor-
Kommutatoren und feinmechanischen Exzentren 568
Bartzke, K.
Der Nadelsensor - ein neues Meßelement für die Kraftmikroskopie 585
Fedotow,
Α./
Iwanow, W.
Kapazitives Rauheits- und Durchmessermeßgerät 596
Rudzitis, J/
Students,
E.
Surface quality control system
606
PLENARSITZUNG
Ausgewählte Themen der
Mikro-
und Feinwerktechnik
Feiertag. R.
Recyclinggerechtes Konstruieren elektronischer Geräte -
Sinn und Unsinn 609
Kabelitz, H./ Kiesewetter. L.
Neue Anwendungen amorpher Metalle in der Feinwerktechnik 616
Linß, G/ Triebe!. M. Brückner. P.
Berührungslose Geometriemessungen mit Laserlichtschnitt¬
verfahren 633
Dorner. J.
Braucht die Mikromechanik die Reinraumtechnik? 648
IX
Seite
ERSATZVORTRÄGE
Büttner, K.
Einfluß der Dämpfung auf das Bewegungsverhalten kapazitiver Sensoren 653
Cieśla,
Α./
Szczerbinski,
M./
Zagorski,
Α.
An Idea Measurement System for Deposition of Ultra
-
Small Particles in Separator Magnetic Field
665
Kolev, E./
Böse,
R./
Beier, E.
Simulation des Schwingungsverhaltens gekoppelter
Schwinger der Feinwerktechnik 671
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