MOCVD-Materialien zur Abscheidung dünner Schichten: Synthese, Struktur und Anwendung cyclopentadienyl-substituierter Metallverbindungen
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
1993
|
| Subjects: | |
| Item Description: | Bielefeld, Univ., Diss., 1993 |
| Physical Description: | 190 S. graph. Darst. |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV008337677 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 931122s1993 d||| m||| 00||| gerod | ||
| 035 | |a (OCoLC)46193953 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV008337677 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-355 |a DE-29T |a DE-83 |a DE-11 | ||
| 100 | 1 | |a Dahlhaus, Jürgen |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a MOCVD-Materialien zur Abscheidung dünner Schichten |b Synthese, Struktur und Anwendung cyclopentadienyl-substituierter Metallverbindungen |c vorgelegt von Jürgen Dahlhaus |
| 264 | 1 | |c 1993 | |
| 300 | |a 190 S. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Bielefeld, Univ., Diss., 1993 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Cyclopentadienderivate |0 (DE-588)4148577-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a MOCVD-Verfahren |0 (DE-588)4314628-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Cyclopentadienylgruppe |0 (DE-588)4148584-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Metallkomplexe |0 (DE-588)4038898-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Metallorganische Verbindungen |0 (DE-588)4038906-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Chemische Synthese |0 (DE-588)4133806-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a CVD-Verfahren |0 (DE-588)4009846-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Komplexe |0 (DE-588)4133953-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a CVD-Verfahren |0 (DE-588)4009846-1 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Metallorganische Verbindungen |0 (DE-588)4038906-6 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a CVD-Verfahren |0 (DE-588)4009846-1 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Cyclopentadienylgruppe |0 (DE-588)4148584-1 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Komplexe |0 (DE-588)4133953-8 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 689 | 2 | 0 | |a Metallkomplexe |0 (DE-588)4038898-0 |D s |
| 689 | 2 | 1 | |a Cyclopentadienderivate |0 (DE-588)4148577-4 |D s |
| 689 | 2 | 2 | |a MOCVD-Verfahren |0 (DE-588)4314628-4 |D s |
| 689 | 2 | |5 DE-604 | |
| 689 | 3 | 0 | |a Metallkomplexe |0 (DE-588)4038898-0 |D s |
| 689 | 3 | 1 | |a Cyclopentadienderivate |0 (DE-588)4148577-4 |D s |
| 689 | 3 | 2 | |a Chemische Synthese |0 (DE-588)4133806-6 |D s |
| 689 | 3 | |5 DE-604 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005508384 | ||
Record in the Search Index
| _version_ | 1804122733379846145 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Dahlhaus, Jürgen |
| author_facet | Dahlhaus, Jürgen |
| author_role | aut |
| author_sort | Dahlhaus, Jürgen |
| author_variant | j d jd |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV008337677 |
| ctrlnum | (OCoLC)46193953 (DE-599)BVBBV008337677 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02153nam a2200541 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV008337677</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">931122s1993 d||| m||| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)46193953</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV008337677</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-355</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Dahlhaus, Jürgen</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">MOCVD-Materialien zur Abscheidung dünner Schichten</subfield><subfield code="b">Synthese, Struktur und Anwendung cyclopentadienyl-substituierter Metallverbindungen</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Jürgen Dahlhaus</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1993</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">190 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Bielefeld, Univ., Diss., 1993</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Cyclopentadienderivate</subfield><subfield code="0">(DE-588)4148577-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">MOCVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4314628-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Cyclopentadienylgruppe</subfield><subfield code="0">(DE-588)4148584-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Metallkomplexe</subfield><subfield code="0">(DE-588)4038898-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Metallorganische Verbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4038906-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Chemische Synthese</subfield><subfield code="0">(DE-588)4133806-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">CVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4009846-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Komplexe</subfield><subfield code="0">(DE-588)4133953-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">CVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4009846-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Metallorganische Verbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4038906-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">CVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4009846-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Cyclopentadienylgruppe</subfield><subfield code="0">(DE-588)4148584-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Komplexe</subfield><subfield code="0">(DE-588)4133953-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="0"><subfield code="a">Metallkomplexe</subfield><subfield code="0">(DE-588)4038898-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="1"><subfield code="a">Cyclopentadienderivate</subfield><subfield code="0">(DE-588)4148577-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2="2"><subfield code="a">MOCVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4314628-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="2" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2="0"><subfield code="a">Metallkomplexe</subfield><subfield code="0">(DE-588)4038898-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2="1"><subfield code="a">Cyclopentadienderivate</subfield><subfield code="0">(DE-588)4148577-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2="2"><subfield code="a">Chemische Synthese</subfield><subfield code="0">(DE-588)4133806-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="3" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005508384</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV008337677 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T17:18:34Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005508384 |
| oclc_num | 46193953 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-355 DE-BY-UBR DE-29T DE-83 DE-11 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-355 DE-BY-UBR DE-29T DE-83 DE-11 |
| physical | 190 S. graph. Darst. |
| publishDate | 1993 |
| publishDateSearch | 1993 |
| publishDateSort | 1993 |
| record_format | marc |
| spelling | Dahlhaus, Jürgen Verfasser aut MOCVD-Materialien zur Abscheidung dünner Schichten Synthese, Struktur und Anwendung cyclopentadienyl-substituierter Metallverbindungen vorgelegt von Jürgen Dahlhaus 1993 190 S. graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Bielefeld, Univ., Diss., 1993 Cyclopentadienderivate (DE-588)4148577-4 gnd rswk-swf MOCVD-Verfahren (DE-588)4314628-4 gnd rswk-swf Cyclopentadienylgruppe (DE-588)4148584-1 gnd rswk-swf Metallkomplexe (DE-588)4038898-0 gnd rswk-swf Metallorganische Verbindungen (DE-588)4038906-6 gnd rswk-swf Chemische Synthese (DE-588)4133806-6 gnd rswk-swf CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd rswk-swf Komplexe (DE-588)4133953-8 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 s Metallorganische Verbindungen (DE-588)4038906-6 s DE-604 Cyclopentadienylgruppe (DE-588)4148584-1 s Komplexe (DE-588)4133953-8 s Metallkomplexe (DE-588)4038898-0 s Cyclopentadienderivate (DE-588)4148577-4 s MOCVD-Verfahren (DE-588)4314628-4 s Chemische Synthese (DE-588)4133806-6 s |
| spellingShingle | Dahlhaus, Jürgen MOCVD-Materialien zur Abscheidung dünner Schichten Synthese, Struktur und Anwendung cyclopentadienyl-substituierter Metallverbindungen Cyclopentadienderivate (DE-588)4148577-4 gnd MOCVD-Verfahren (DE-588)4314628-4 gnd Cyclopentadienylgruppe (DE-588)4148584-1 gnd Metallkomplexe (DE-588)4038898-0 gnd Metallorganische Verbindungen (DE-588)4038906-6 gnd Chemische Synthese (DE-588)4133806-6 gnd CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd Komplexe (DE-588)4133953-8 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4148577-4 (DE-588)4314628-4 (DE-588)4148584-1 (DE-588)4038898-0 (DE-588)4038906-6 (DE-588)4133806-6 (DE-588)4009846-1 (DE-588)4133953-8 (DE-588)4113937-9 |
| title | MOCVD-Materialien zur Abscheidung dünner Schichten Synthese, Struktur und Anwendung cyclopentadienyl-substituierter Metallverbindungen |
| title_auth | MOCVD-Materialien zur Abscheidung dünner Schichten Synthese, Struktur und Anwendung cyclopentadienyl-substituierter Metallverbindungen |
| title_exact_search | MOCVD-Materialien zur Abscheidung dünner Schichten Synthese, Struktur und Anwendung cyclopentadienyl-substituierter Metallverbindungen |
| title_full | MOCVD-Materialien zur Abscheidung dünner Schichten Synthese, Struktur und Anwendung cyclopentadienyl-substituierter Metallverbindungen vorgelegt von Jürgen Dahlhaus |
| title_fullStr | MOCVD-Materialien zur Abscheidung dünner Schichten Synthese, Struktur und Anwendung cyclopentadienyl-substituierter Metallverbindungen vorgelegt von Jürgen Dahlhaus |
| title_full_unstemmed | MOCVD-Materialien zur Abscheidung dünner Schichten Synthese, Struktur und Anwendung cyclopentadienyl-substituierter Metallverbindungen vorgelegt von Jürgen Dahlhaus |
| title_short | MOCVD-Materialien zur Abscheidung dünner Schichten |
| title_sort | mocvd materialien zur abscheidung dunner schichten synthese struktur und anwendung cyclopentadienyl substituierter metallverbindungen |
| title_sub | Synthese, Struktur und Anwendung cyclopentadienyl-substituierter Metallverbindungen |
| topic | Cyclopentadienderivate (DE-588)4148577-4 gnd MOCVD-Verfahren (DE-588)4314628-4 gnd Cyclopentadienylgruppe (DE-588)4148584-1 gnd Metallkomplexe (DE-588)4038898-0 gnd Metallorganische Verbindungen (DE-588)4038906-6 gnd Chemische Synthese (DE-588)4133806-6 gnd CVD-Verfahren (DE-588)4009846-1 gnd Komplexe (DE-588)4133953-8 gnd |
| topic_facet | Cyclopentadienderivate MOCVD-Verfahren Cyclopentadienylgruppe Metallkomplexe Metallorganische Verbindungen Chemische Synthese CVD-Verfahren Komplexe Hochschulschrift |
| work_keys_str_mv | AT dahlhausjurgen mocvdmaterialienzurabscheidungdunnerschichtensynthesestrukturundanwendungcyclopentadienylsubstituiertermetallverbindungen |