Mehrlagenmetallisierung für hochintegrierte mikroelektronische Schaltungen:
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| Language: | German |
| Published: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1993
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| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9]
167 |
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| Item Description: | Literaturverz. S. 139 - 155 |
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