Mehrlagenmetallisierung für hochintegrierte mikroelektronische Schaltungen:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1993
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9]
167 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Literaturverz. S. 139 - 155 |
| Beschreibung: | V, 155 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 318146709X |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV008336193 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20201126 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 931119s1993 ad|| a||| 00||| gerod | ||
| 020 | |a 318146709X |9 3-18-146709-X | ||
| 035 | |a (OCoLC)246890957 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV008336193 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-210 |a DE-29T |a DE-634 |a DE-83 | ||
| 084 | |a ZN 4952 |0 (DE-625)157425: |2 rvk | ||
| 084 | |a ELT 280d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Vogt, Holger |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Mehrlagenmetallisierung für hochintegrierte mikroelektronische Schaltungen |c Holger Vogt |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Düsseldorf |b VDI-Verl. |c 1993 | |
| 300 | |a V, 155 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9] |v 167 | |
| 500 | |a Literaturverz. S. 139 - 155 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Mehrschichtschaltung |0 (DE-588)4169321-8 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Integrierte Schaltung |0 (DE-588)4027242-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a CMOS |0 (DE-588)4010319-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Metallisieren |0 (DE-588)4169599-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a LSI |0 (DE-588)4168200-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 689 | 0 | 0 | |a LSI |0 (DE-588)4168200-2 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Mehrschichtschaltung |0 (DE-588)4169321-8 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a CMOS |0 (DE-588)4010319-5 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Metallisieren |0 (DE-588)4169599-9 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Integrierte Schaltung |0 (DE-588)4027242-4 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Mehrschichtschaltung |0 (DE-588)4169321-8 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Metallisieren |0 (DE-588)4169599-9 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 810 | 2 | |a 9] |t Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI |v 167 |w (DE-604)BV047505631 |9 167 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005507145 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804122731266965504 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Vogt, Holger |
| author_facet | Vogt, Holger |
| author_role | aut |
| author_sort | Vogt, Holger |
| author_variant | h v hv |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV008336193 |
| classification_rvk | ZN 4952 |
| classification_tum | ELT 280d |
| ctrlnum | (OCoLC)246890957 (DE-599)BVBBV008336193 |
| discipline | Elektrotechnik Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01841nam a2200493 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV008336193</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20201126 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">931119s1993 ad|| a||| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">318146709X</subfield><subfield code="9">3-18-146709-X</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)246890957</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV008336193</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-210</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield><subfield code="a">DE-634</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ZN 4952</subfield><subfield code="0">(DE-625)157425:</subfield><subfield code="2">rvk</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 280d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Vogt, Holger</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Mehrlagenmetallisierung für hochintegrierte mikroelektronische Schaltungen</subfield><subfield code="c">Holger Vogt</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Düsseldorf</subfield><subfield code="b">VDI-Verl.</subfield><subfield code="c">1993</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">V, 155 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9]</subfield><subfield code="v">167</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Literaturverz. S. 139 - 155</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mehrschichtschaltung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169321-8</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Integrierte Schaltung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027242-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">CMOS</subfield><subfield code="0">(DE-588)4010319-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Metallisieren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169599-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">LSI</subfield><subfield code="0">(DE-588)4168200-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">LSI</subfield><subfield code="0">(DE-588)4168200-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Mehrschichtschaltung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169321-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">CMOS</subfield><subfield code="0">(DE-588)4010319-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Metallisieren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169599-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Integrierte Schaltung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027242-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Mehrschichtschaltung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169321-8</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Metallisieren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169599-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="810" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">9]</subfield><subfield code="t">Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI</subfield><subfield code="v">167</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV047505631</subfield><subfield code="9">167</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005507145</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV008336193 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T17:18:32Z |
| institution | BVB |
| isbn | 318146709X |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-005507145 |
| oclc_num | 246890957 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-210 DE-29T DE-634 DE-83 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-210 DE-29T DE-634 DE-83 |
| physical | V, 155 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1993 |
| publishDateSearch | 1993 |
| publishDateSort | 1993 |
| publisher | VDI-Verl. |
| record_format | marc |
| series2 | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9] |
| spelling | Vogt, Holger Verfasser aut Mehrlagenmetallisierung für hochintegrierte mikroelektronische Schaltungen Holger Vogt Als Ms. gedr. Düsseldorf VDI-Verl. 1993 V, 155 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9] 167 Literaturverz. S. 139 - 155 Mehrschichtschaltung (DE-588)4169321-8 gnd rswk-swf Integrierte Schaltung (DE-588)4027242-4 gnd rswk-swf CMOS (DE-588)4010319-5 gnd rswk-swf Metallisieren (DE-588)4169599-9 gnd rswk-swf LSI (DE-588)4168200-2 gnd rswk-swf LSI (DE-588)4168200-2 s Mehrschichtschaltung (DE-588)4169321-8 s CMOS (DE-588)4010319-5 s Metallisieren (DE-588)4169599-9 s DE-604 Integrierte Schaltung (DE-588)4027242-4 s 9] Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI 167 (DE-604)BV047505631 167 |
| spellingShingle | Vogt, Holger Mehrlagenmetallisierung für hochintegrierte mikroelektronische Schaltungen Mehrschichtschaltung (DE-588)4169321-8 gnd Integrierte Schaltung (DE-588)4027242-4 gnd CMOS (DE-588)4010319-5 gnd Metallisieren (DE-588)4169599-9 gnd LSI (DE-588)4168200-2 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4169321-8 (DE-588)4027242-4 (DE-588)4010319-5 (DE-588)4169599-9 (DE-588)4168200-2 |
| title | Mehrlagenmetallisierung für hochintegrierte mikroelektronische Schaltungen |
| title_auth | Mehrlagenmetallisierung für hochintegrierte mikroelektronische Schaltungen |
| title_exact_search | Mehrlagenmetallisierung für hochintegrierte mikroelektronische Schaltungen |
| title_full | Mehrlagenmetallisierung für hochintegrierte mikroelektronische Schaltungen Holger Vogt |
| title_fullStr | Mehrlagenmetallisierung für hochintegrierte mikroelektronische Schaltungen Holger Vogt |
| title_full_unstemmed | Mehrlagenmetallisierung für hochintegrierte mikroelektronische Schaltungen Holger Vogt |
| title_short | Mehrlagenmetallisierung für hochintegrierte mikroelektronische Schaltungen |
| title_sort | mehrlagenmetallisierung fur hochintegrierte mikroelektronische schaltungen |
| topic | Mehrschichtschaltung (DE-588)4169321-8 gnd Integrierte Schaltung (DE-588)4027242-4 gnd CMOS (DE-588)4010319-5 gnd Metallisieren (DE-588)4169599-9 gnd LSI (DE-588)4168200-2 gnd |
| topic_facet | Mehrschichtschaltung Integrierte Schaltung CMOS Metallisieren LSI |
| volume_link | (DE-604)BV047505631 |
| work_keys_str_mv | AT vogtholger mehrlagenmetallisierungfurhochintegriertemikroelektronischeschaltungen |