Vogt, H. (1993). Mehrlagenmetallisierung für hochintegrierte mikroelektronische Schaltungen (Als Ms. gedr.). VDI-Verl.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Vogt, Holger. Mehrlagenmetallisierung Für Hochintegrierte Mikroelektronische Schaltungen. Als Ms. gedr. Düsseldorf: VDI-Verl, 1993.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Vogt, Holger. Mehrlagenmetallisierung Für Hochintegrierte Mikroelektronische Schaltungen. Als Ms. gedr. VDI-Verl, 1993.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.