Interferometrie mit Laserdioden zur Form- und Abstandsmessung:
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| Published: |
Stuttgart
ITO
1992
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| Series: | Institut für Technische Optik <Stuttgart>: Berichte aus dem Institut für Technische Optik der Universität Stuttgart
15 |
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3
INHALT
S
VERZEICHNIS
INHALTSVERZEICHNIS
3
ABBILDUNGSVERZEICHNIS
5
LISTE
DER
ABKUERZUNGEN
8
1
EINLEITUNG
11
2
LASERDIODEN
ALS
KOHAERENTE
LICHTQUELLEN
14
2.1
ENTWICKLUNGSGESCHICHTE
DER
HALBLEITERLASER
.
14
2.2
FUNKTIONSWEISE
VON
LASERDIODEN
.
18
2.3
EINFLUSS
VON
TEMPERATUR
UND
STROM
AUF
DIE
EIGENSCHAFTEN
VON
LAR
SERDIODEN
.
22
2.4
EIGENSCHAFTEN
DER
VERWENDETEN
LASERDIODEN
.
28
2.4.1
LEISTUNGSCHARAKTERISTIKEN
DER
LT030
UND
LT080
.
29
2.4.2
SPEKTRALE
EIGENSCHAFTEN
.
33
3
PHASENFINDUNG
IM
UNABGEGLICHENEN
INTERFEROMETER
39
3.1
INTERFERENZPHASE
IM
UNABGEGLICHENEN
INTERFEROMETER
.
39
3.2
BESTIMMUNG
DER
PHASENVERSCHIEBUNG
.
41
3.2.1
KONSTANTE
AMPLITUDE
.
42
3.2.2
LINEARER
AMPLITUDENANSTIEG
.
49
3.3
INTERFEROMETERSTABILISIERUNG
.
51
3.4
AUTOMATISCHE
RR/2
PHASENSCHIEBUNG
.
56
3.5
VERMESSUNG
VON
PLANPARALLELPLATTEN
.
61
3.5.1
DICKENBESTIMMUNG
.
61
3.5.2
BRECHZAHLBESTIMMUNG
.
63
4
DYNAMISCHE
STREIFENAUSWERTUNG
MIT
LASERDIODEN
64
4.1
ALGORITHMEN
FUER
DIE
DYNAMISCHE
STREIFENAUSWERTUNG
.
66
4.1.1
ZWEI-INTERFEROGRAMM
VERFAHREN
.
66
4
4.1.2
DREI-INTERFEROGRAMM
VERFAHREN
.
67
4.1.3
VIER-INTERFEROGRAMM
VERFAHREN
.
68
4.1.4
FUENF-INTERFEROGRAMM
VERFAHREN
.
69
4.1.5
VERGLEICH
DER
VERFAHREN
.
70
4.2
EINFLUSS
DER
INTENSITAETSAENDERUNG
.
71
4.3
ANGEPASSTE
ALGORITHMEN
.
74
4.3.1
VIER-INTERFEROGRAMM
ALGORITHMUS
.
74
4.3.2
FUENF-INTERFEROGRAMM
ALGORITHMUS
.
75
5
ANWENDUNGEN
VON
LASERDIODEN
IN
DER
INTERFEROMETRIE
77
5.1
WIRKUNGSWEISE
DES
ANGEPASSTEN
ALGORITHMUS
.
77
5.2
WELLENFRONTBESTIMMUNG
MIT
LATERALER
SCHERUNG
.
82
5.3
INTERFEROMETER
MIT
SCHRAEGEM
EINFALL
.
90
5.3.1
STREIFENDER
EINFALL
IM
RETROSKOP
.
92
5.3.2
ENTZERRUNG
DES
INTERFEROMETERBILDES
.
94
5.3.3
FORMMESSUNG
AN
RAUHEN
OBERFLAECHEN
.
98
6
ABSTANDS
UND
FORMMESSUNG
IM
PROBEGLASAUFBAU
104
6.1
ABSTANDSMESSUNG
MIT
LASERDIODEN
IM
/ZM-BEREICH
.
104
6.1.1
EINDIMENSIONALE
ABSTANDSBESTIMMUNG
.
106
6.1.2
ZWEIDIMENSIONALE
ABSTANDSBESTIMMUNG
.
111
6.2
ANWENDUNG
DES
MODENSPRUNGS
ZUR
PHASENSCHIEBUNG
IM
ZWEI-INTER
FEROGRAMM
VERFAHREN
.
113
6.2.1
ABZUG
DES
GLEICHLICHTANTEILS
IM
INTERFEROGRAMM
.
113
6.2.2
EINFLUSS
DER
WELLENLAENGENVERSCHIEBUNG
BEIM
MODENSPRUNG
.
.
114
6.3
ANWENDUNG
IM
PROBEGLASAUFBAU
.
116
7
ZUSAMMENFASSUNG
UND
AUSBLICK
120
LITERATURVERZEICHNIS
123 |
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