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Oppermann, M. (1993). Untersuchungen zur Erzeugung dünner Schichten mit dem ICBD (Ionized-Cluster-Beam-Deposition)-Verfahren im Hinblick auf Anwendungen in der Mikroelektronik.

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Oppermann, Martin. Untersuchungen Zur Erzeugung Dünner Schichten Mit Dem ICBD (Ionized-Cluster-Beam-Deposition)-Verfahren Im Hinblick Auf Anwendungen in Der Mikroelektronik. 1993.

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Oppermann, Martin. Untersuchungen Zur Erzeugung Dünner Schichten Mit Dem ICBD (Ionized-Cluster-Beam-Deposition)-Verfahren Im Hinblick Auf Anwendungen in Der Mikroelektronik. 1993.