Ambacher, O. (1993). Plasmainduzierte Abscheidung von amorphem Silicium aus Silan: Vom Verständnis der chemischen Reaktionsmechanismen zur Abscheidung von hochwertigem amorphen Silicium mit grossen Depositionsraten.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Ambacher, Oliver. Plasmainduzierte Abscheidung Von Amorphem Silicium Aus Silan: Vom Verständnis Der Chemischen Reaktionsmechanismen Zur Abscheidung Von Hochwertigem Amorphen Silicium Mit Grossen Depositionsraten. 1993.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Ambacher, Oliver. Plasmainduzierte Abscheidung Von Amorphem Silicium Aus Silan: Vom Verständnis Der Chemischen Reaktionsmechanismen Zur Abscheidung Von Hochwertigem Amorphen Silicium Mit Grossen Depositionsraten. 1993.
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