(1991). Rapid thermal and related processing techniques: 2 - 3 October 1990, Santa Clara, California. SPIE.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Rapid Thermal and Related Processing Techniques: 2 - 3 October 1990, Santa Clara, California. Bellingham, Washington, USA: SPIE, 1991.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Rapid Thermal and Related Processing Techniques: 2 - 3 October 1990, Santa Clara, California. SPIE, 1991.
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