Kapazitiv gekoppelte Hochfrequenz-Ionenquelle mit radialer Anordnung der Anregungselektroden für reaktives Ionenstrahlätzen:
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Bibliographic Details
Main Author: Korzec, Dariusz (Author)
Format: Book
Language:German
Published: Düsseldorf VDI Verl. 1993
Edition:Als Ms. gedr.
Series:Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9] 160
Subjects:
Item Description:Zugl.: Wuppertal, Univ., Diss., 1992
Physical Description:XVIII, 182 S. graph. Dars.
ISBN:3181460095

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