Korzec, D. (1993). Kapazitiv gekoppelte Hochfrequenz-Ionenquelle mit radialer Anordnung der Anregungselektroden für reaktives Ionenstrahlätzen (Als Ms. gedr.). VDI Verl.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Korzec, Dariusz. Kapazitiv Gekoppelte Hochfrequenz-Ionenquelle Mit Radialer Anordnung Der Anregungselektroden Für Reaktives Ionenstrahlätzen. Als Ms. gedr. Düsseldorf: VDI Verl, 1993.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Korzec, Dariusz. Kapazitiv Gekoppelte Hochfrequenz-Ionenquelle Mit Radialer Anordnung Der Anregungselektroden Für Reaktives Ionenstrahlätzen. Als Ms. gedr. VDI Verl, 1993.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.