Grundlagen und Anwendungsmöglichkeiten der LIGA-Technik in der Mikrooptik:
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| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Karlsruhe
Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH
1993
|
| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Series: | Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK
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