Grundlagen und Anwendungsmöglichkeiten der LIGA-Technik in der Mikrooptik:
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , |
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH
1993
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK
5153 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. J. Göttert. - Zsfassung in engl. Sprache |
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