Paduschek, P. (1982). Einbau von Wasserstoff in aus der Plasmaphase abgeschiedenen Schichten auf Siliziumbasis und dessen Einfluß auf mechanische Schichtparameter.
Chicago Style (17th ed.) CitationPaduschek, Peter. Einbau Von Wasserstoff in Aus Der Plasmaphase Abgeschiedenen Schichten Auf Siliziumbasis Und Dessen Einfluß Auf Mechanische Schichtparameter. 1982.
MLA (9th ed.) CitationPaduschek, Peter. Einbau Von Wasserstoff in Aus Der Plasmaphase Abgeschiedenen Schichten Auf Siliziumbasis Und Dessen Einfluß Auf Mechanische Schichtparameter. 1982.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.