Entwicklung neuer Dünn- und Dickfilmschichten für die Feuchtemessung - Borgwardt, Christian; Kallfaß, Traugott; Lüder, Ernst (Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1985)
Zsfassung in engl. Sprache. - PST: Development of humidity sensors in tantalum - thin film technology