Microcircuit Engineering seventy-nine: microstructure fabrication ; proceedings ; 25-27 Sept. 1979, RWTH Aachen
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Format: Buch
Sprache:Undetermined
Veröffentlicht: Aachen RWTH 1979
Schlagworte:
Beschreibung:Literaturangaben
Beschreibung:362 S. Ill., graph. Darst.

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