APA (7th ed.) Citation

(1983). Strukturerzeugung auf Halbleitern mit Röntgenstrahlen: Vergleich u. Optimierung d. Maskentechnologie. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik.

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Strukturerzeugung Auf Halbleitern Mit Röntgenstrahlen: Vergleich U. Optimierung D. Maskentechnologie. Karlsruhe: Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1983.

MLA (9th ed.) Citation

Strukturerzeugung Auf Halbleitern Mit Röntgenstrahlen: Vergleich U. Optimierung D. Maskentechnologie. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1983.