(1983). Technologie dünngeätzter Siliziumfolien in Hinblick auf monolithisch integrierbare Sensoren. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Technologie Dünngeätzter Siliziumfolien in Hinblick Auf Monolithisch Integrierbare Sensoren. Karlsruhe: Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1983.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Technologie Dünngeätzter Siliziumfolien in Hinblick Auf Monolithisch Integrierbare Sensoren. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1983.
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