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(1980). Neue photolithographische Verfahren für kleine Strukturen: = Report-Nummer BMFT-FB-T 80-199. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik.

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Neue Photolithographische Verfahren Für Kleine Strukturen: = Report-Nummer BMFT-FB-T 80-199. Eggenstein-Leopoldshafen: Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1980.

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Neue Photolithographische Verfahren Für Kleine Strukturen: = Report-Nummer BMFT-FB-T 80-199. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1980.