Horninger, K., Rüttenauer, W., & Schulte, H. (1982). Entwicklung einer 2-Mym-MOS-Prozeßlinie zur Fertigung von VLSI-Produkten. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Horninger, Karlheinrich, Winfried Rüttenauer, und Heinrich Schulte. Entwicklung Einer 2-Mym-MOS-Prozeßlinie Zur Fertigung Von VLSI-Produkten. Karlsruhe: Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1982.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Horninger, Karlheinrich, et al. Entwicklung Einer 2-Mym-MOS-Prozeßlinie Zur Fertigung Von VLSI-Produkten. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1982.
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