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(1981). Neue photolithographische Verfahren: Projektionsverfahren für Metallisierung hochintegrierter Schaltungen = Report-Nummer BMFT-FB-T 81-018. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik.

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Neue Photolithographische Verfahren: Projektionsverfahren Für Metallisierung Hochintegrierter Schaltungen = Report-Nummer BMFT-FB-T 81-018. Eggenstein-Leopoldshafen: Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1981.

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Neue Photolithographische Verfahren: Projektionsverfahren Für Metallisierung Hochintegrierter Schaltungen = Report-Nummer BMFT-FB-T 81-018. Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1981.