Passivierung von Si-Leistungsbauelementen durch thermische Oxidation:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Eggenstein
Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik
1977
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| Schriftenreihe: | Deutschland <Bundesrepublik>. Bundesmin. für Forschung und Technologie: Forschungsbericht. Technologische Forschung und Entwicklung.
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