Wolf, S., & Tauber, R. N. Silicon processing for the VLSI era. Lattice Press.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Wolf, Stanley, und Richard N. Tauber. Silicon Processing for the VLSI Era. Sunset Beach, Calif: Lattice Press.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Wolf, Stanley, und Richard N. Tauber. Silicon Processing for the VLSI Era. Lattice Press.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.