Anwendung und Weiterentwicklung der Ionenimplantation für hochintegrierte Schaltungen:
Gespeichert in:
| Format: | Buch |
|---|---|
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik
1982
|
| Schlagworte: |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 ca4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV006906773 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 930405m1982uuuu |||| 00||| und d | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV006906773 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | |a und | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Anwendung und Weiterentwicklung der Ionenimplantation für hochintegrierte Schaltungen |c Mitarb.: Heiner Ryssel ; Karl Haberger* |
| 246 | 1 | 3 | |a Reportnr. BMFT-FB-T 82-119 |
| 264 | 1 | |a Karlsruhe |b Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik |c 1982 | |
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Ionenimplantation |0 (DE-588)4027606-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 689 | 0 | 0 | |a Ionenimplantation |0 (DE-588)4027606-5 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Ryssel, Heiner |d 1941- |e Sonstige |0 (DE-588)108187802 |4 oth | |
| 700 | 1 | |a Haberger, Karl |e Sonstige |4 oth | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-012407839 | ||
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804132288268599296 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author_GND | (DE-588)108187802 |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV006906773 |
| ctrlnum | (DE-599)BVBBV006906773 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00945nam a2200265 ca4500</leader><controlfield tag="001">BV006906773</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">930405m1982uuuu |||| 00||| und d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV006906773</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">und</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Anwendung und Weiterentwicklung der Ionenimplantation für hochintegrierte Schaltungen</subfield><subfield code="c">Mitarb.: Heiner Ryssel ; Karl Haberger*</subfield></datafield><datafield tag="246" ind1="1" ind2="3"><subfield code="a">Reportnr. BMFT-FB-T 82-119</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Karlsruhe</subfield><subfield code="b">Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik</subfield><subfield code="c">1982</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ionenimplantation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027606-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Ionenimplantation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4027606-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Ryssel, Heiner</subfield><subfield code="d">1941-</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="0">(DE-588)108187802</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Haberger, Karl</subfield><subfield code="e">Sonstige</subfield><subfield code="4">oth</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-012407839</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV006906773 |
| illustrated | Not Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T19:50:26Z |
| institution | BVB |
| language | Undetermined |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-012407839 |
| open_access_boolean | |
| publishDate | 1982 |
| publishDateSearch | 1982 |
| publishDateSort | 1982 |
| publisher | Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik |
| record_format | marc |
| spelling | Anwendung und Weiterentwicklung der Ionenimplantation für hochintegrierte Schaltungen Mitarb.: Heiner Ryssel ; Karl Haberger* Reportnr. BMFT-FB-T 82-119 Karlsruhe Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1982 txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd rswk-swf Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 s DE-604 Ryssel, Heiner 1941- Sonstige (DE-588)108187802 oth Haberger, Karl Sonstige oth |
| spellingShingle | Anwendung und Weiterentwicklung der Ionenimplantation für hochintegrierte Schaltungen Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4027606-5 |
| title | Anwendung und Weiterentwicklung der Ionenimplantation für hochintegrierte Schaltungen |
| title_alt | Reportnr. BMFT-FB-T 82-119 |
| title_auth | Anwendung und Weiterentwicklung der Ionenimplantation für hochintegrierte Schaltungen |
| title_exact_search | Anwendung und Weiterentwicklung der Ionenimplantation für hochintegrierte Schaltungen |
| title_full | Anwendung und Weiterentwicklung der Ionenimplantation für hochintegrierte Schaltungen Mitarb.: Heiner Ryssel ; Karl Haberger* |
| title_fullStr | Anwendung und Weiterentwicklung der Ionenimplantation für hochintegrierte Schaltungen Mitarb.: Heiner Ryssel ; Karl Haberger* |
| title_full_unstemmed | Anwendung und Weiterentwicklung der Ionenimplantation für hochintegrierte Schaltungen Mitarb.: Heiner Ryssel ; Karl Haberger* |
| title_short | Anwendung und Weiterentwicklung der Ionenimplantation für hochintegrierte Schaltungen |
| title_sort | anwendung und weiterentwicklung der ionenimplantation fur hochintegrierte schaltungen |
| topic | Ionenimplantation (DE-588)4027606-5 gnd |
| topic_facet | Ionenimplantation |
| work_keys_str_mv | AT rysselheiner anwendungundweiterentwicklungderionenimplantationfurhochintegrierteschaltungen AT habergerkarl anwendungundweiterentwicklungderionenimplantationfurhochintegrierteschaltungen AT rysselheiner reportnrbmftfbt82119 AT habergerkarl reportnrbmftfbt82119 |