Grundlagenentwicklung für eine Eins-fünf-mym-VLSI-Technik: T. 1-4 = Report-Nr. BMFT-FB-T 85-032 = Basic development of a one five mym VLSI-technique
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Bibliographic Details
Main Authors: Fehling, Heino (Author), Schmidt, Friedemann (Author), Dörner, Wolfgang (Author), Schwarz, Manfred (Author)
Format: Book
Language:Undetermined
Published: Eggenstein-Leopoldshafen Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik 1985
Edition:Als Ms. gedr.
Subjects:
Item Description:Zsfassung in engl. Sprache. - Enth. u.a. 1.: Fehling, Heino: Strukturübertragung für eine 1,5-mym-Technologie mit einer neuen Generation des Silicon Repeaters. Schmidt, Friedemann: Strukturübertragung für eine 1,5-mym-Technologie mit einer neuen Generation des Silicon Repeaters. Enth. u.a. 2.: Dörner, Wolfgang: Entwicklung von Maskenherstellverfahren für eine 1,5-mym-VLSI-Technik. Schwarz, Manfred: Entwicklung von Maskenherstellverfahren für eine 1,5-mym-VLSI-Technik
Physical Description:345 S. Ill., graph. Darst.

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