Grundlagenentwicklung für eine Eins-fünf-mym-VLSI-Technik T. 1-4 = Report-Nr. BMFT-FB-T 85-032 = Basic development of a one five mym VLSI-technique - Fehling, Heino; Schmidt, Friedemann; Dörner, Wolfgang; Schwarz, Manfred (Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik, 1985)
Zsfassung in engl. Sprache. - Enth. u.a. 1.: Fehling, Heino: Strukturübertragung für eine 1,5-mym-Technologie mit einer neuen Generation des Silicon Repeaters. Schmidt, Friedemann: Strukturübertragung für eine 1,5-mym-Technologie mit einer neuen Generation des Silicon Repeaters. Enth. u.a. 2.: Dörner, Wolfgang: Entwicklung von Maskenherstellverfahren für eine 1,5-mym-VLSI-Technik. Schwarz, Manfred: Entwicklung von Maskenherstellverfahren für eine 1,5-mym-VLSI-Technik