Untersuchungen zur strukturierten Abscheidung von Silizium und Siliziumverbindungen mit Hilfe des Laser-CVD-Verfahrens:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verl.
1992
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 10]
231 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Beschreibung: | 183 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3181431109 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV006495067 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19931021 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 930311s1992 ad|| m||| 00||| undod | ||
| 016 | 7 | |a 940135779 |2 DE-101 | |
| 020 | |a 3181431109 |9 3-18-143110-9 | ||
| 035 | |a (OCoLC)246435793 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV006495067 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | |a und | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-210 |a DE-83 | ||
| 084 | |a WER 320d |2 stub | ||
| 084 | |a FER 882d |2 stub | ||
| 084 | |a CHE 365d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Löffler-Peters, Andrea |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Untersuchungen zur strukturierten Abscheidung von Silizium und Siliziumverbindungen mit Hilfe des Laser-CVD-Verfahrens |c Andrea Löffler-Peters |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Düsseldorf |b VDI-Verl. |c 1992 | |
| 300 | |a 183 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 10] |v 231 | |
| 650 | 0 | 7 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Laser-CVD-Verfahren |0 (DE-588)4276920-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Siliciumverbindungen |0 (DE-588)4124194-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Silicium |0 (DE-588)4077445-4 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Laser-CVD-Verfahren |0 (DE-588)4276920-6 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Siliciumverbindungen |0 (DE-588)4124194-0 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Laser-CVD-Verfahren |0 (DE-588)4276920-6 |D s |
| 689 | 1 | |5 DE-604 | |
| 810 | 2 | |a 10] |t Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI |v 231 |w (DE-604)BV000897204 |9 231 | |
| 856 | 4 | 2 | |m DNB Datenaustausch |q application/pdf |u http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=004130324&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |3 Inhaltsverzeichnis |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-004130324 | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1812454209272938496 |
|---|---|
| adam_text |
INHALTSVERZEICHNIS
1 EINLEITUNG 4
2 THEORETISCHE GRUNDLAGEN 7
2.1 WECHSELWIRKUNG VON LASERLICHT MIT MATERIE. 7
2.2 LASERINDUZIERTE SUBSTRATERWAERMUNG. 9
2.2.1 SUBSTRATERWAERMUNG DURCH EINE LASERSTRAHL MIT GAUSSFOERMIGEN
STRAHLPROFIL 10
2.2.2 LASERINDUZIERTE ERWAERMUNG EINER ABGESCHIEDENEN STRUKTUR. 11
2.2.3 ERWAERMUNG DURCH EINEN GROSSFLAECHIGEN, GEPULSTEN STRAHL. 11
2.3 REAKTIONSKINETIK . 12
2.4 OPTIK . 13
2.4.1 OPTIK GAUSSSCHER STRAHLEN. 13
2.4.2 DER OPTISCHE FILMWELLENLEITER . 14
2.4.3 OPTISCHE FILMLINSEN. 17
3 PROZESSTECHNISCHE GRUNDLAGEN ' ' 21
3.1 GRUNDPRINZIPIEN DES LASER-CVD-PROZESSES. 21
3.1.1 PYROLYTISCHE LASER-CVD-VERFAHREN. 21
3.1.2 PHOTOLYTISCHE LASER-CVD-VERFAHREN. 22
3.2 THERMISCHE UND OPTISCHE EIGENSCHAFTEN DER VERWENDETEN MATERIALIEN.
23
3.2.1 GASE. . 1. 24
3.2.2 SUBSTRATMATERIALIEN. 25
3.3 CHEMISCHE REAKTIONEN ZUR ABSCHEIDUNG . 20
4 ENTWICKLUNGEN IM BEREICH DES LASER-CVD-VERFAHRENS 28
4.1 ABSCHEIDUNG VON METALLEN. 28
4.2 ABSCHEIDUNG VON HALBLEITERMATERIALIEN. 29
4.3 ABSCHEIDUNG VON DIELEKTRISCHEN SCHICHTEN. 30
1
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
HTTP://D-NB.INFO/940135779
4.4 ABSCHEIDUNG WEITERER SCHICHTARTEN. 31
4.5 ANWENDUNGSBEISPIEIE FUER LASERINDUZIERTE ABSCHEIDUNGEN. 31
5 VERWENDETE MESS- UND ANALYSEMETHODEN 33
5.1 ELLIPSOMETRIE . 33
5.2 MECHANISCHE SCHICHTDICKENMESSUNG. 35
5.3 INFRAROTSPEKTROSKOPIE. 35
5.4 SEKUNDAERIONEN-MASSENSPEKTROSKOPIE. 36
5.5 ENERGIEDISPERSIVE ROENTGENSPEKTROSKOPIE. 36
5.6 MESSUNG DER OPTISCHEN DAEMPFUNG VON WELLENLEITERN. 37
5.7 UNTERSUCHUNG DER ELEKTRISCHEN ISOLATIONSEIGENSCHAFTEN VON
DIELEKTRISCHEN SCHICHTEN 38
6 AUFBAU DER LASER-CVD-ANLAGE 40
6.1 DIE WEITERENTWICKELTE LASER-CVD-ANLAGE UND IHRE KOMPONENTEN. 41
6.1.1 DER EXCIMERLASER UND DIE DAZUGEHOERIGE UV-OPTIK. 41
6.1.2 DER ARGON-IONENLASER UND DIE DAZUGEHOERIGE FOKUSSIEROPTIK. 41
6.1.3 DAS VAKUUMSYSTEM. 42
6.1.4 MECHANISCHER AUFBAU. 43
6.1.5 GASZUFUHR. 44
6.1.6 SICHERHEITSASPEKTE . 44
6.2 KURZBESCHREIBUNG DER VORLAUF-ANLAGE. 45
7 ABSCHEIDUNG MIT HILFE DES ARGON-IONENLASERS 47
7.1 PROZESSDURCHFUEHRUNG . 48
7.2 BESTIMMUNG DES STRAHLDURCHMESSERS AUF DEM SUBSTRAT . 48
7.3 ABSCHEIDUNG VON SILIZIUM. 49
7.3.1 ABSCHEIDUNG VON SILIZIUMLINIEN AUS SILAN. 49
7.3.2 ABSCHEIDUNG VON SILIZIUM AUS DICHLORSILAN. 54
7.4 ABSCHEIDUNG VON SILIZIUMVERBINDUNGEN. 54
7.4.1 ABSCHEIDUNGEN AUS SILAN UND AMMONIAK. 54
7.4.2 ABSCHEIDUNGEN AUS DICHLORSILAN UND AMMONIAK. 55
7.4.3 ABSCHEIDUNGEN AUS SILAN UND SAUERSTOFF . 55
7.5 ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK. 56
2
8
ABSCHEIDUNGEN MIT DEM ARF-EXCIMER-LASER 58
8.1 APPARATIVE EINFLUESSE AUF DIE ABSCHEIDUNG. .59
8.2 ABSCHEIDUNG VON SILIZIUMDIOXID. 63
8.2.1 ABSCHEIDUNG AUS SILAN UND LACHGAS. 63
8.2.2 ABSCHEIDUNG AUS DICHLORSILAN UND LACHGAS. 71
8.3 ABSCHEIDUNG VON SILIZIUMNITRID. 74
8.3.1 ABSCHEIDUNG AUS SILAN UND AMMONIAK. 74
8.3.2 ABSCHEIDUNG AUS DICHLORSILAN UND AMMONIAK. 80
8.4 ABSCHEIDUNG VON SILIZIUMOXINITRIDEN . 82
8.4.1 ABSCHEIDUNG VON SILIZIUMOXINITRIDEN MIT SILAN. 83
8.4.2 ABSCHEIDUNG VON SILIZIUMOXINITRIDEN MIT DICHLORSILAN. 86
8.5 ZUSAMMENFASSUNG. 88
FL UNTERSUCHUNGEN ZUR PHOTOLYTISCH UNTERSTUETZTEN STRUKTURIERTEN
ABSCHEIDUNG 81
9.1 ABSCHEIDUNG UNTER VERWENDUNG BEIDER LASER. 91
9.1.1 EXPERIMENTELLE VORGEHENSWEISE . 91
9.1.2 ERGEBNISSE. 93
9.2 STRUKTURIERTE ABSCHEIDUNG UNTER ALLEINIGER VERWENDUNG DES
ARF-EXCIMERLASERS . 93
9.2.1 FOKUSSIERUNG DES LASERSTRAHLS. 94
9.2.2 STRUKTURIERTE ABSCHEIDUNG MIT MASKENTECHNOLOGIE. 95
9.3 ZUSAMMENFASSUNG UND DISKUSSION. 99
10
HERSTELLUNG VON INDEXLINSEN 100
10.1 HERSTELLUNGSVERFAHREN.100
10.2 GEOMETRISCHE BESCHREIBUNG DER LINSEN.101
10.3 OPTISCHE EIGENSCHAFTEN DER LINSEN.102
10.4 DISKUSSION DER ERGEBNISSE.103
11
ZUSAMMENFASSUNG UND AUSBLICK 106
LITERATUR
108
TABELLEN U
7
126
ABBILDUNGEN |
| any_adam_object | 1 |
| author | Löffler-Peters, Andrea |
| author_facet | Löffler-Peters, Andrea |
| author_role | aut |
| author_sort | Löffler-Peters, Andrea |
| author_variant | a l p alp |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV006495067 |
| classification_tum | WER 320d FER 882d CHE 365d |
| ctrlnum | (OCoLC)246435793 (DE-599)BVBBV006495067 |
| discipline | Werkstoffwissenschaften Chemie Fertigungstechnik |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>00000nam a2200000 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV006495067</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19931021</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">930311s1992 ad|| m||| 00||| undod</controlfield><datafield tag="016" ind1="7" ind2=" "><subfield code="a">940135779</subfield><subfield code="2">DE-101</subfield></datafield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3181431109</subfield><subfield code="9">3-18-143110-9</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)246435793</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV006495067</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">und</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-210</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">WER 320d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">FER 882d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">CHE 365d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Löffler-Peters, Andrea</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Untersuchungen zur strukturierten Abscheidung von Silizium und Siliziumverbindungen mit Hilfe des Laser-CVD-Verfahrens</subfield><subfield code="c">Andrea Löffler-Peters</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Düsseldorf</subfield><subfield code="b">VDI-Verl.</subfield><subfield code="c">1992</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">183 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 10]</subfield><subfield code="v">231</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Laser-CVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4276920-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Siliciumverbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4124194-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Silicium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4077445-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Laser-CVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4276920-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Siliciumverbindungen</subfield><subfield code="0">(DE-588)4124194-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Laser-CVD-Verfahren</subfield><subfield code="0">(DE-588)4276920-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="810" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">10]</subfield><subfield code="t">Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI</subfield><subfield code="v">231</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV000897204</subfield><subfield code="9">231</subfield></datafield><datafield tag="856" ind1="4" ind2="2"><subfield code="m">DNB Datenaustausch</subfield><subfield code="q">application/pdf</subfield><subfield code="u">http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=004130324&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA</subfield><subfield code="3">Inhaltsverzeichnis</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-004130324</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV006495067 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-10-09T16:23:46Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3181431109 |
| language | Undetermined |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-004130324 |
| oclc_num | 246435793 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-210 DE-83 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-210 DE-83 |
| physical | 183 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1992 |
| publishDateSearch | 1992 |
| publishDateSort | 1992 |
| publisher | VDI-Verl. |
| record_format | marc |
| series2 | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 10] |
| spelling | Löffler-Peters, Andrea Verfasser aut Untersuchungen zur strukturierten Abscheidung von Silizium und Siliziumverbindungen mit Hilfe des Laser-CVD-Verfahrens Andrea Löffler-Peters Als Ms. gedr. Düsseldorf VDI-Verl. 1992 183 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI / 10] 231 Silicium (DE-588)4077445-4 gnd rswk-swf Laser-CVD-Verfahren (DE-588)4276920-6 gnd rswk-swf Siliciumverbindungen (DE-588)4124194-0 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Silicium (DE-588)4077445-4 s Laser-CVD-Verfahren (DE-588)4276920-6 s DE-604 Siliciumverbindungen (DE-588)4124194-0 s 10] Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschrittberichte VDI 231 (DE-604)BV000897204 231 DNB Datenaustausch application/pdf http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=004130324&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA Inhaltsverzeichnis |
| spellingShingle | Löffler-Peters, Andrea Untersuchungen zur strukturierten Abscheidung von Silizium und Siliziumverbindungen mit Hilfe des Laser-CVD-Verfahrens Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Laser-CVD-Verfahren (DE-588)4276920-6 gnd Siliciumverbindungen (DE-588)4124194-0 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4077445-4 (DE-588)4276920-6 (DE-588)4124194-0 (DE-588)4113937-9 |
| title | Untersuchungen zur strukturierten Abscheidung von Silizium und Siliziumverbindungen mit Hilfe des Laser-CVD-Verfahrens |
| title_auth | Untersuchungen zur strukturierten Abscheidung von Silizium und Siliziumverbindungen mit Hilfe des Laser-CVD-Verfahrens |
| title_exact_search | Untersuchungen zur strukturierten Abscheidung von Silizium und Siliziumverbindungen mit Hilfe des Laser-CVD-Verfahrens |
| title_full | Untersuchungen zur strukturierten Abscheidung von Silizium und Siliziumverbindungen mit Hilfe des Laser-CVD-Verfahrens Andrea Löffler-Peters |
| title_fullStr | Untersuchungen zur strukturierten Abscheidung von Silizium und Siliziumverbindungen mit Hilfe des Laser-CVD-Verfahrens Andrea Löffler-Peters |
| title_full_unstemmed | Untersuchungen zur strukturierten Abscheidung von Silizium und Siliziumverbindungen mit Hilfe des Laser-CVD-Verfahrens Andrea Löffler-Peters |
| title_short | Untersuchungen zur strukturierten Abscheidung von Silizium und Siliziumverbindungen mit Hilfe des Laser-CVD-Verfahrens |
| title_sort | untersuchungen zur strukturierten abscheidung von silizium und siliziumverbindungen mit hilfe des laser cvd verfahrens |
| topic | Silicium (DE-588)4077445-4 gnd Laser-CVD-Verfahren (DE-588)4276920-6 gnd Siliciumverbindungen (DE-588)4124194-0 gnd |
| topic_facet | Silicium Laser-CVD-Verfahren Siliciumverbindungen Hochschulschrift |
| url | http://bvbr.bib-bvb.de:8991/F?func=service&doc_library=BVB01&local_base=BVB01&doc_number=004130324&sequence=000001&line_number=0001&func_code=DB_RECORDS&service_type=MEDIA |
| volume_link | (DE-604)BV000897204 |
| work_keys_str_mv | AT lofflerpetersandrea untersuchungenzurstrukturiertenabscheidungvonsiliziumundsiliziumverbindungenmithilfedeslasercvdverfahrens |