Technologieausstattung für die Herstellung mikromechanischer Bauelemente auf der Basis von Silizium und Quartz:
Saved in:
| Main Authors: | , , |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | German |
| Published: |
Berlin
VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik
1990
|
| Series: | Technologiestudien und Marktprognosen zur Mikrosystemtechnik
4 |
| Subjects: | |
| Physical Description: | 122 S. Ill., graph. Darst. |
Staff View
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV006368195 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19930302 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 930302s1990 ad|| |||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)257746256 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV006368195 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91G | ||
| 100 | 1 | |a Büttgenbach, Stephanus |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Technologieausstattung für die Herstellung mikromechanischer Bauelemente auf der Basis von Silizium und Quartz |c Stephanus Büttgenbach ; Bettina Prillwitz ; Bertram Schmidt |
| 264 | 1 | |a Berlin |b VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik |c 1990 | |
| 300 | |a 122 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Technologiestudien und Marktprognosen zur Mikrosystemtechnik |v 4 | |
| 650 | 0 | 7 | |a Fertigung |0 (DE-588)4016899-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mikromechanik |0 (DE-588)4205811-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Technologie |0 (DE-588)4059276-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Bauelement |0 (DE-588)4004741-6 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Maschinenkosten |0 (DE-588)4169008-4 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 689 | 0 | 0 | |a Mikromechanik |0 (DE-588)4205811-9 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Bauelement |0 (DE-588)4004741-6 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Fertigung |0 (DE-588)4016899-2 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Maschinenkosten |0 (DE-588)4169008-4 |D s |
| 689 | 0 | |8 1\p |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Mikromechanik |0 (DE-588)4205811-9 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Technologie |0 (DE-588)4059276-5 |D s |
| 689 | 1 | |8 2\p |5 DE-604 | |
| 700 | 1 | |a Prillwitz, Bettina |e Verfasser |4 aut | |
| 700 | 1 | |a Schmidt, Bertram |e Verfasser |4 aut | |
| 830 | 0 | |a Technologiestudien und Marktprognosen zur Mikrosystemtechnik |v 4 |w (DE-604)BV004246207 |9 4 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-004031381 | ||
| 883 | 1 | |8 1\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
| 883 | 1 | |8 2\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
Record in the Search Index
| _version_ | 1804120616486305792 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Büttgenbach, Stephanus Prillwitz, Bettina Schmidt, Bertram |
| author_facet | Büttgenbach, Stephanus Prillwitz, Bettina Schmidt, Bertram |
| author_role | aut aut aut |
| author_sort | Büttgenbach, Stephanus |
| author_variant | s b sb b p bp b s bs |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV006368195 |
| ctrlnum | (OCoLC)257746256 (DE-599)BVBBV006368195 |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01957nam a2200469 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV006368195</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19930302 </controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">930302s1990 ad|| |||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)257746256</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV006368195</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91G</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Büttgenbach, Stephanus</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Technologieausstattung für die Herstellung mikromechanischer Bauelemente auf der Basis von Silizium und Quartz</subfield><subfield code="c">Stephanus Büttgenbach ; Bettina Prillwitz ; Bertram Schmidt</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Berlin</subfield><subfield code="b">VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik</subfield><subfield code="c">1990</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">122 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Technologiestudien und Marktprognosen zur Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="v">4</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Fertigung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4016899-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Technologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4059276-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Bauelement</subfield><subfield code="0">(DE-588)4004741-6</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Maschinenkosten</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169008-4</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Bauelement</subfield><subfield code="0">(DE-588)4004741-6</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Fertigung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4016899-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Maschinenkosten</subfield><subfield code="0">(DE-588)4169008-4</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Mikromechanik</subfield><subfield code="0">(DE-588)4205811-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Technologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4059276-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Prillwitz, Bettina</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="700" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Schmidt, Bertram</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Technologiestudien und Marktprognosen zur Mikrosystemtechnik</subfield><subfield code="v">4</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV004246207</subfield><subfield code="9">4</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-004031381</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">2\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield></record></collection> |
| id | DE-604.BV006368195 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T16:44:55Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-004031381 |
| oclc_num | 257746256 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91G DE-BY-TUM |
| owner_facet | DE-91G DE-BY-TUM |
| physical | 122 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1990 |
| publishDateSearch | 1990 |
| publishDateSort | 1990 |
| publisher | VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik |
| record_format | marc |
| series | Technologiestudien und Marktprognosen zur Mikrosystemtechnik |
| series2 | Technologiestudien und Marktprognosen zur Mikrosystemtechnik |
| spelling | Büttgenbach, Stephanus Verfasser aut Technologieausstattung für die Herstellung mikromechanischer Bauelemente auf der Basis von Silizium und Quartz Stephanus Büttgenbach ; Bettina Prillwitz ; Bertram Schmidt Berlin VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik 1990 122 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Technologiestudien und Marktprognosen zur Mikrosystemtechnik 4 Fertigung (DE-588)4016899-2 gnd rswk-swf Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd rswk-swf Technologie (DE-588)4059276-5 gnd rswk-swf Bauelement (DE-588)4004741-6 gnd rswk-swf Maschinenkosten (DE-588)4169008-4 gnd rswk-swf Mikromechanik (DE-588)4205811-9 s Bauelement (DE-588)4004741-6 s Fertigung (DE-588)4016899-2 s Maschinenkosten (DE-588)4169008-4 s 1\p DE-604 Technologie (DE-588)4059276-5 s 2\p DE-604 Prillwitz, Bettina Verfasser aut Schmidt, Bertram Verfasser aut Technologiestudien und Marktprognosen zur Mikrosystemtechnik 4 (DE-604)BV004246207 4 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk 2\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
| spellingShingle | Büttgenbach, Stephanus Prillwitz, Bettina Schmidt, Bertram Technologieausstattung für die Herstellung mikromechanischer Bauelemente auf der Basis von Silizium und Quartz Technologiestudien und Marktprognosen zur Mikrosystemtechnik Fertigung (DE-588)4016899-2 gnd Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd Technologie (DE-588)4059276-5 gnd Bauelement (DE-588)4004741-6 gnd Maschinenkosten (DE-588)4169008-4 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4016899-2 (DE-588)4205811-9 (DE-588)4059276-5 (DE-588)4004741-6 (DE-588)4169008-4 |
| title | Technologieausstattung für die Herstellung mikromechanischer Bauelemente auf der Basis von Silizium und Quartz |
| title_auth | Technologieausstattung für die Herstellung mikromechanischer Bauelemente auf der Basis von Silizium und Quartz |
| title_exact_search | Technologieausstattung für die Herstellung mikromechanischer Bauelemente auf der Basis von Silizium und Quartz |
| title_full | Technologieausstattung für die Herstellung mikromechanischer Bauelemente auf der Basis von Silizium und Quartz Stephanus Büttgenbach ; Bettina Prillwitz ; Bertram Schmidt |
| title_fullStr | Technologieausstattung für die Herstellung mikromechanischer Bauelemente auf der Basis von Silizium und Quartz Stephanus Büttgenbach ; Bettina Prillwitz ; Bertram Schmidt |
| title_full_unstemmed | Technologieausstattung für die Herstellung mikromechanischer Bauelemente auf der Basis von Silizium und Quartz Stephanus Büttgenbach ; Bettina Prillwitz ; Bertram Schmidt |
| title_short | Technologieausstattung für die Herstellung mikromechanischer Bauelemente auf der Basis von Silizium und Quartz |
| title_sort | technologieausstattung fur die herstellung mikromechanischer bauelemente auf der basis von silizium und quartz |
| topic | Fertigung (DE-588)4016899-2 gnd Mikromechanik (DE-588)4205811-9 gnd Technologie (DE-588)4059276-5 gnd Bauelement (DE-588)4004741-6 gnd Maschinenkosten (DE-588)4169008-4 gnd |
| topic_facet | Fertigung Mikromechanik Technologie Bauelement Maschinenkosten |
| volume_link | (DE-604)BV004246207 |
| work_keys_str_mv | AT buttgenbachstephanus technologieausstattungfurdieherstellungmikromechanischerbauelementeaufderbasisvonsiliziumundquartz AT prillwitzbettina technologieausstattungfurdieherstellungmikromechanischerbauelementeaufderbasisvonsiliziumundquartz AT schmidtbertram technologieausstattungfurdieherstellungmikromechanischerbauelementeaufderbasisvonsiliziumundquartz |