Technologieausstattung für die Herstellung mikromechanischer Bauelemente auf der Basis von Silizium und Quartz:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Berlin
VDI/VDE-Technologiezentrum Informationstechnik
1990
|
| Schriftenreihe: | Technologiestudien und Marktprognosen zur Mikrosystemtechnik
4 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | 122 S. Ill., graph. Darst. |
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