Joseph, M. (1992). Reaktives Ionenätzen zur Herstellung von III/V-Halbleiterbauelementen und integrierten Schaltungen.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Joseph, Manfred. Reaktives Ionenätzen Zur Herstellung Von III/V-Halbleiterbauelementen Und Integrierten Schaltungen. 1992.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Joseph, Manfred. Reaktives Ionenätzen Zur Herstellung Von III/V-Halbleiterbauelementen Und Integrierten Schaltungen. 1992.
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