(1991). Lasers in microelectronic manufacturing: 10 - 11 September 1991, San Jose, California. SPIE.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Lasers in Microelectronic Manufacturing: 10 - 11 September 1991, San Jose, California. Bellingham, Wash: SPIE, 1991.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Lasers in Microelectronic Manufacturing: 10 - 11 September 1991, San Jose, California. SPIE, 1991.
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