Charakterisierung von Materialien der Mikroelektronik mit Hilfe von Wärmewellen-Interferenzen:
Gespeichert in:
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| Veröffentlicht: |
1991
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| Beschreibung: | Berlin, Technische Univ., Diss., 1991. - Mikroreprod. eines Ms. 141 S. : Ill., graph. Darst. |
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