AMA-Seminar "Mikromechanik" mit Schwerpunkt Mikrosystemtechnik dieser Band beinhaltet eine Zusammenstellung der Seminarvorträge, die am 19./20. Oktober 1989 in Heidelberg im Rahmen des AMA-Seminars "Mikromechanik" mit Schwerpunkt Mikrosystemtechnik gehalten wurden (ACS Organisations-GmbH, 1989)
Literaturangaben. - Beitr. teilw. dt., teilw. engl.