Abbildung von Oberflächen: mit Elektronen, Ionen und Röntgenstrahlen
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Mannheim
Bibliogr.Inst.
1968
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| Schriftenreihe: | BI-Hochschultaschenbücher
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ABBILDUNG
VON OBERFLAECHEN MIT
ELEKTRONEN, IONEN UND. ROENTGENSTRAHLEN
HELLMUT S E I L ER PRIVATDOZENT AN DER UNIVERSITAET TUEBINGEN
BIBLIOGRAPHISCHES INSTITUT * MANNHEIM/ZUERICH
HOCHSCHULTASCHENBUECHER-VERLAG
IMAGE 2
INHALTSVERZEICHNIS
1. EINLEITUNG 11
2. GRUNDLAGEN 14
2.1. AUFLOESUNGSGRENZE 14
2.1.1. AUFLOESUNGSGRENZE FUER SELBSTLEUCHTENDE OBJEKTE . . 14
2.1.2. AUFLOESUNGSGRENZE FUER NICHT SELBSTLEUCHTENDE OBJEKTE 15 2.2.
ERZEUGUNG VON ELEKTRONEN 17
2.2.1. THERMISCHE ELEKTRONENEMISSION 18
2.2.2. ELEKTRONENAUSLOESUNG DURCH FOTOEFFEKT 19
2.2.3. ELEKTRONENAUSLOESUNG DURCH EINFALL VON PRIMAERELEK TRONEN 20
2.2.4. ELEKTRONENAUSLOESUNG DURCH EINFALL VON IONEN,
ATOMEN UND MOLEKUELEN 23
2.2.5. FELDEMISSION 24
2.2.6. ENERGIEVERTEILUNG DER AUSGELOESTEN ELEKTRONEN . .. 25
2.2.7. ELEKTRONENSTRAHLERZEUGUNGSSYSTEM 27
2.3. REICHWEITE DER ELEKTRONEN IN MATERIE 28
2.4 ERZEUGUNG VON IONEN 29
2.4.1. ERZEUGUNG VON IONEN IM GASRAUM 29
2.4.2. BILDUNG VON IONEN DURCH BESCHUSS VON METALLOBER FLAECHEN MIT
PRIMAERIONEN 31
2.4.3. BILDUNG VON IONEN AN HEISSEN METALLOBERFLAECHEN . . 31
2.4.4. KUNSMAN-ANODE 31
2.5. ERZEUGUNG VON ROENTGENSTRAHLEN 32
2.5.1. ROENTGENBREMSSTRAHLUNG 32
2.5.2. CHARAKTERISTISCHE ROENTGENSTRAHLUNG 33
2.6. ABSORPTION VON ROENTGENSTRAHLEN 34
2.7. LINSEN FUER ROENTGENSTRAHLEN 35
2.8. LINSEN FUER ELEKTRONEN UND IONEN 35
2.8.1. ELEKTROSTATISCHE LINSE 35
2.8.2. MAGNETISCHE LINSE 37
2.8.3. LINSENFEHLER 39
2.8.3.1. OEFFNUNGSFEHLER 39
2.8.3.2. FARBFEHLER 41
2.8.3.3. AXIALER ASTIGMATISMUS 41
IMAGE 3
INHALTSVERZEICHNIS
7
2.9. AUFBAU EINER VAKUUMAPPARATUR 42
2.10. KONTAMINATION 43
2.11. FESTKOERPERZERSTAEUBUNG DURCH IONENBESCHUSS . . .. 45
3. ABBILDUNG VON OBERFLAECHEN MIT HILFE DES
DURCHSTRAHLUNGSELEKTRONEN-MIKROSKOPS 47
3.1. PRINZIP DER BILDENTSTEHUNG 47
3.2. ULTRADUENNSCHNITT VERFAHREN 49
3.3. ABDRUCKVERFAHREN 49
3.3.1. OXYDABDRUCK 49
3.3.2. LACKABDRUCK 49
3.3.3. AUFDAMPFABDRUCK 50
3.3.4. NACHTEILE DER ABDRUCKVERFAHREN 52
4. ELEKTRONEN-EMISSIONS-MIKROSKOP 53
4.1. PRINZIP DER BILDENTSTEHUNG 53
4.2. ALLGEMEINER AUFBAU 54
4.2.1. KATHODENLINSE 54
4.3. AUFLOESUNGSGRENZE 56
4.3.1. AUFLOESUNGSGRENZE OHNE BLENDE 56
4.3.2. AUFLOESUNGSGRENZE MIT BLENDE 57
4.4. ANWENDUNG 57
4.4.1. THERMISCHES ELEKTRONEN-EMISSIONS-MIKROSKOP . .. 57
4.4.2. EMISSIONS-MIKROSKOP MIT DURCH IONEN-EINFALL AUSGE LOESTEN
ELEKTRONEN 58
4.4.3. EMISSIONS-MIKROSKOP MIT DURCH PRIMAERELEKTRONEN AUSGELOESTEN
SEKUNDAERELEKTRONEN 61
4.4.4. FOTO-ELEKTRONEN-EMISSIONS-MIKROSKOP 62
4.4.5. ELEKTRONEN AUS DER FELDEMISSION IM ELEKTRONENEMISSIONS-MIKROSKOP
64
4.4.6. ELEKTRONEN-EMISSIONS-MIKROSKOP FUER METALLURGISCHE UNTERSUCHUNGEN
64
5. IONEN-EMISSIONS-MIKROSKOP 67
5.1. IONEN-EMISSIONS-MIKROSKOP MIT NEGATIVEN IONEN . . 67
5.2. IONEN-EMISSIONS-MIKROSKOP MIT POSITIVEN IONEN . . 68
6. ELEKTRONEN-RASTER-MIKROSKOP 72
6.1. PRINZIP DER BILDENTSTEHUNG 72
6.2. ALLGEMEINER AUFBAU 73
IMAGE 4
8 INHALTSVERZEICHNIS
6.2.1. ELEKTRONENSONDE 73
6.2.2. ELEKTRONEN-KOLLEKTOR 74
6.2.3. BILDROEHREN 75
6.3. KONTRASTENTSTEHUNG 75
6.4. AUFLOESUNGSGRENZE 77
6.5. ANWENDUNG 79
7. IONEN-BASTER-MIKROSKOP 84
8. ROENTGENMIKROANALYSATOR 85
8.1. PRINZIP DER BILDENTSTEHUNG 85
8.2. ALLGEMEINER AUFBAU 86
8.2.1. ELEKTRONENSONDE 86
8.2.2. SPEKTROMETER 87
8.2.3. MESSUNG DER ROENTGENSTRAHLEN 89
8.2.4. MESSUNG DER SEKUNDAERELEKTRONEN UND DER REFLEKTIER TEN ELEKTRONEN
91
8.3. ANWENDUNG 92
8.4. QUANTITATIVE ANALYSE 94
8.5. GRENZEN DER ELEKTRONEN-MIKROANALYSE 96
9. ELEKTRONEN-SPIEGEL-MIKROSKOP 97
10. ELEKTRONEN-SPIEGEL-RASTER-MIKROSKOP 101
11. ELEKTRONEN-REFLEXIONS-MIKROSKOP 102
11.1. PRINZIP DER BILDENTSTEHUNG 102
11.2. OBJEKTOBERFLAECHE SENKRECHT ZUR OBJEKTIVACHSE. . . 102 11.3.
OBJEKTOBERFIAECHE NICHT SENKRECHT ZUR OBJEKTIVACHSE 103
12. FELD-ELEKTRONEN-MIKROSKOP 106
12.1. PRINZIP DER BILDENTSTEHUNG UND ALLGEMEINER AUF BAU 106 12.2.
AUFLOESUNGSGRENZE 108
12.2.1. ABSCHAETZUNG DER AUFLOESUNG OHNE BERUECKSICHTIGUNG DER BEUGUNG 108
12.2.2. ABSCHAETZUNG DER AUFLOESUNG UNTER BERUECKSICHTIGUNG DER BEUGUNG 109
12.3. ANWENDUNG UND BETRIEB DES FELD-ELEKTRONEN-MIKRO SKOPS 110
IMAGE 5
INHALTSVERZEICHNIS 9
13. FELD-IONEN-MIKROSKOP 112
13.1. PRINZIP DER BILDENTSTEHUNG UND ALLGEMEINER AUFBAU 112 13.2.
ABSCHAETZUNG DER AUF LOESUNGSGRENZE 114
13.3. ENTSTEHUNG DES BILDES 115
13.4. FELDVERDAMPFUNG 118
13.5. BILDVERSTAERKER 119
14. ALLGEMEINE UEBERSICHT 121
NACHWEIS DER ABBILDUNGEN 124
LITERATURVERZEICHNIS 125
REGISTER 129
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Inhaltsverzeichnis
THWS Schweinfurt Magazin
| Signatur: |
2900 05043 |
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| Exemplar 1 | ausleihbar Verfügbar Bestellen |