Sensoren - Technologie und Anwendung: Vorträge der NTG/GMR-Fachtagung vom 9. bis 11. März 1982 in Bad Nauheim
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| Language: | German English |
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Berlin [u.a.]
VDE-Verl.
1982
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| Series: | Nachrichtentechnische Gesellschaft: NTG-Fachberichte
79 |
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| adam_text | Titel: Bd. 1. Sensoren, Technologie und Anwendung. Vorträge der NTG/GMR-Fachtagung vom 9. bis 11. März 19
Autor:
Jahr: 1982
INHALTSVERZEICHNIS
EINFÜHRUNG
Diskussionsleiter: W. Henning, München
E. Hofmeister, München : Sensorik, Grundfunktion
für Natur und Technik ........................................... 9
I. Rüge, München : Sensoren - Schrittmacher für die
Mikroelektronik ................................................. 13
P.H.K. Fischer, Nürnberg : Sensoren in Hausgeräten,
Stand der Technik - Ausblick in die Zukunft ..................... 17
F. Heintz, E. Zabler, Karlsruhe : Probleme bei der
Anwendung von Sensoren in Kraftfahrzeugen ....................... 25
NEUE MATERIALIEN UND TECHNOLOGIEN FÜR SENSOREN
Diskussionsleiter: I. Rüge, München
S. Middelhoek, D.J.W. Noorlag, Delft : Introduction into
Silicon Micro-Transducers....................................... 35
H. Seidel, L. Csepregi, München : Herstellung von Sensoren
in Silizium mit Hilfe von anisotropen Ätzen..................... 42
E. Obermeier, H. Reichl, München : Polykristalline
Siliziumschichten als Basismaterial für Sensoren................. 49
R. Weissei, Hamburg-Harburg : Polysilizium als neues Material
für Temperatur- und Drucksensoren............................... 56
SENSORSYSTEME, SCHNITTSTELLEN, INTELLIGENTE SENSOREN
Diskussionsleiter: E. Lüder, Stuttgart
H. Rüchardt, München
J.B. Angell, Stanford, California : On-Chip Signal Processing
for Long-Term Sensor Stability ................................... 62
H.-R. Tränkler, München-Neubiberg : Rechnerkorrigierte
Sensoren ......................................................... 68
D. Gerstner, Ulm : Die Schnittstelle zwischen Sensor und
Mikroprozessor ................................................... 73
D. Meyer-Ebrecht, D. Schröder, Hamburg : Intelligente Sensoren -
Aufgaben und Möglichkeiten ....................................... 81
H. Böckermann, W. Demmer, Hamburg : uC - kompatible Sensor-
elektronik ....................................................... 88
R. Massen, Konstanz, H. Pfeiffer, Maulburg/Lörrach :
Berührungslose Sensoren für die korrelative Meßtechnik ........... 93
P.-O. Johansson, Västeräs : Correlation Meter for Non-Contact
Measurement of Velocity and Length ............................... 99
W. Rimkus, G. Trenkler, Berlin : Berührungsfreie, kapazitive
Abstandssensoren mit integrierter Elektronik ..................... 107
W.Chr. Heerens, Delft : Basic Principles in Designing Highly
Reliable Multi Terminal Capacitor Sensors and the Performances
of some Laboratory Test Models................................... 113
J. Niewisch, P. Krämmer, Erlangen : Piezoelektrischer Wegauf-
nehmer für die pulseformspezifische Schallemissionsanalyse ....... 119
H.F. Roloff, München : Monolithische Integration von Sensoren,
Spannungsversorgung und Signalverarbeitung auf Si - Vorteile
und spezielle Probleme ..--.....--.............................. 124
5
SENSOREN ZUR MESSUNG VON STRAHLUNGEN
Diskussionsleiter: P.W. Baier, Kaiserslautern
M.H. Pilkuhn, Stuttgart : Photodetektoren für den nahen infra-
roten Spektralbereich ............................................ 127
H.-G. Graf, G. Zimmer, Dortmund : MOS-integrierbare
Fotodioden ....................................................... 130
H. Vogt, H.P. Zepf, P. Würfel, W. Ruppel, Karlsruhe :
NaNÜ2-Layers as Pyroelectric Sensors for Heat Radiation .......... 135
J. Hesse, W. Sohler, Freiburg : Faseroptische Sensoren ........... 141
W.H.G. Horsthuis, J.H.J. Fluitman, Enschede : Sensitivity
Dependence on Number of Bends in a Fiber Optic Microbend
Pressure Sensor .................................................. 147
SENSOREN ZUR MESSUNG MECHANISCHER GRÖSSEN
Diskussionsleiter: Chr. Rohrbach, Berlin
G. Arlt, Aachen
K. Hörn, Braunschweig
K. Hörn, Braunschweig : Prinzipien von Sensoren zur Kraft-
und Masse-Bestimmung............................................. 153
W. Ort, Darmstadt : Sensoren mit Dehnungsmeßstreifen aus
Metallfolien..................................................... 159
K. Bethe, Hamburg/Braunschweig : Sensoren mit Dünnfilm-Dehnungs-
meßstreifen aus metallischen und halbleitenden Materialien ....... 168
K. Bethe, W. Germer, H. Ewald, Hamburg : Miederdruck-Meßaufnehmer
mit Halbleiter-Dünnfilm-Dehnungsmeßstreifen...................... 177
H. Grüner, Stuttgart : Dünnschichtsystem zur Messung von
Temperatur und Dehnung........................................... 182
D. Möller, W.K.R. Barnikol, Mainz : Ein Beitrag zur
Dehnungsmeßstreifen-Meßtechnik im biomechanischen Experiment...... 185
6
P. Kleinschmidt, München : Piezokeramische Sensoren .............. 189
P.W. Baier, K. Dostert, G. Uhl, Kaiserslautern : Anwendung
selbstgeheizter Kaltleiter zur Durchfluß- und Wärmemengenmessung.. 196
H. Pirot, Friedberg : Kontinuierliche Dichtebestimmung in
Flüssigkeiten mittels Resonanzsensor ............................. 203
T. Hipp, Karlsruhe : Prozeßviskosimeter zur kontinuierlichen
Erfassung der dynamischen Viskosität von Gasen................... 207
E. Zabler, F. Heintz, Karlsruhe : Kurzschlußring-Sensoren
als vielseitig verwendbare Weg- und Winkelgeber im Kraftfahrzeug.. 213
B. Christmann, J. Weber, Berlin : Wirbelstrommeßköpfe zur
Erfassung von Abständen und Oberflächenfehlern bei Hoch-
temperaturprozessen .............................................. 222
E. Kloppenburg, Wilhelmshaven : Aufbau, Arbeitsweise und
Eigenschaften optischer Sensoren................................. 226
SENSOREN ZUR MESSUNG VON TEMPERATUREN
Diskussionsleiter: K. Bethe, Hamburg / Braunschweig
H. Ziegler, Paderborn : Quarzsensoren und ihre Auswerteschal-
tungen in der Temperaturmeßtechnik ............................... 232
T. Kalifaß, E. Lüder, Stuttgart : Ein empfindliches und langzeit-
stabiles Widerstandsthermometer in Tantal-Dünnschichttechnik ..... 235
M. Beitner, W. Kanert, H.-J. Reichert, München : Silizium-
Temperatursensor - Einsatzgebiete, analoge und digitale Schnitt-
stellenschaltungen............................................... 240
G. Raabe, Hamburg : Silizium-Temperatur-Sensoren
von - 50°C bis + 350°C........................................... 248
SENSOREN AUF MAGNETISCHER BASIS
Diskussionsleiter: S. Middelhoek, Delft
U. Dibbern, Hamburg : Magnetoresistive Sensoren .................. 254
L. Borek, Hanau : Magnetoelastische Sensoren mit amorphen
Metallen ......................................................... 260
E. Pettenpaul, München, W. Flossmann, Regensburg : Ionenimplan-
tierte Halleffekt-Sensoren in GaAs ............................... 266
W. Bornhöfft, Wedel : Ein modernes mikroprozessorgesteuertes
Magnetometer ..................................................... 271
SENSOREN ZUR MESSUNG CHEMISCHER GRÖSSEN
Diskussionsleiter: Th. Ricker, Ulm
G. Heiland, Aachen
H. Preier, Freiburg : Festkörpersensoren für die Gasanalyse ...... 277/
D. Krey, K. Dobos, Dortmund, B. Höfflinger, Minneapolis,
G. Zimmer, Dortmund : Ein integrierbarer kohlenmonoxidempfind-
licher MOS-Transistor in VLSI-Technologie ........................ 283
M. Kuisl, M. Klein, Ulm : The Application of Ion-Sensitive Field
Effect Transistors (ISFETs) without Reference Electrode........ 289
B. Rothmann, H. Böhm, Frankfurt/Main : Elektrochemische Sensoren
für Luftverunreinigungen......................................... 295
E. Lüder, T. Kalifaß, C. Borgwardt, Stuttgart : A highly Sensitive
Dielectric Humidity Sensor out of Sputtered Low-Density Ta ....... 299
P. Hora, J. Kammermaier, J. Rauhut, München : Feuchtesensor mit
linearer Kennlinie aus organischem Dielektrikum .................. 304
K. Ihokura, Osaka : Application of Sintered Tin (IV) Oxide for
Gas Detector..................................................... 312
8
A. Reis, Männedorf : Modellvorstellungen der Gasempfindlichkeit
von Metalloxid-Sensoren auf der Basis von Zinnoxid ................ 318
L. Treitinger, H. Voit, München : Gesputterte WO3-Dünnschichten
als Halbleiter-Gassensoren für reduzierende Gase................. 324
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