Mechanische Relaxationsspektroskopie an Aluminium-Metallisierungsschichten für die Mikroelektronik:
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Undetermined |
| Veröffentlicht: |
1989
|
| Schriftenreihe: | Kernforschungsanlage <Jülich>: Berichte der Kernfoschungsanlage Jülich
2321 |
| Schlagworte: | |
| Beschreibung: | Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1989. - Auch als: Jül 2321 |
| Beschreibung: | 82 S. Ill., graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV005537093 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 00000000000000.0 | ||
| 007 | t | ||
| 008 | 920918s1989 ad|| m||| 00||| undod | ||
| 035 | |a (OCoLC)246695913 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV005537093 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | |a und | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-29T | ||
| 084 | |a ELT 275d |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 631d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Vollkommer, Frank |e Verfasser |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Mechanische Relaxationsspektroskopie an Aluminium-Metallisierungsschichten für die Mikroelektronik |c vorgelegt von Frank Vollkommer |
| 264 | 1 | |c 1989 | |
| 300 | |a 82 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Kernforschungsanlage <Jülich>: Berichte der Kernfoschungsanlage Jülich |v 2321 | |
| 500 | |a Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1989. - Auch als: Jül 2321 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Aluminiumlegierung |0 (DE-588)4001586-5 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Elektromigration |0 (DE-588)4296761-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Leiterbahn |0 (DE-588)4167320-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Aluminium |0 (DE-588)4001573-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Mechanische Relaxation |0 (DE-588)4252867-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Relaxationsspektroskopie |0 (DE-588)4177696-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Metallisierungsschicht |0 (DE-588)4296760-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Aluminium |0 (DE-588)4001573-7 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Metallisierungsschicht |0 (DE-588)4296760-0 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Elektromigration |0 (DE-588)4296761-2 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Mechanische Relaxation |0 (DE-588)4252867-7 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 689 | 1 | 0 | |a Relaxationsspektroskopie |0 (DE-588)4177696-3 |D s |
| 689 | 1 | 1 | |a Leiterbahn |0 (DE-588)4167320-7 |D s |
| 689 | 1 | 2 | |a Aluminiumlegierung |0 (DE-588)4001586-5 |D s |
| 689 | 1 | |8 1\p |5 DE-604 | |
| 830 | 0 | |a Kernforschungsanlage <Jülich>: Berichte der Kernfoschungsanlage Jülich |v 2321 |w (DE-604)BV007933847 |9 2321 | |
| 999 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-003471774 | ||
| 883 | 1 | |8 1\p |a cgwrk |d 20201028 |q DE-101 |u https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk | |
Datensatz im Suchindex
| _version_ | 1804119759916105728 |
|---|---|
| any_adam_object | |
| author | Vollkommer, Frank |
| author_facet | Vollkommer, Frank |
| author_role | aut |
| author_sort | Vollkommer, Frank |
| author_variant | f v fv |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV005537093 |
| classification_tum | ELT 275d PHY 631d |
| ctrlnum | (OCoLC)246695913 (DE-599)BVBBV005537093 |
| discipline | Physik Elektrotechnik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>02158nam a2200517 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV005537093</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">00000000000000.0</controlfield><controlfield tag="007">t</controlfield><controlfield tag="008">920918s1989 ad|| m||| 00||| undod</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)246695913</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV005537093</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">und</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-29T</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 275d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 631d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Vollkommer, Frank</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Mechanische Relaxationsspektroskopie an Aluminium-Metallisierungsschichten für die Mikroelektronik</subfield><subfield code="c">vorgelegt von Frank Vollkommer</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1989</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">82 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Kernforschungsanlage <Jülich>: Berichte der Kernfoschungsanlage Jülich</subfield><subfield code="v">2321</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1989. - Auch als: Jül 2321</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Aluminiumlegierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4001586-5</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Elektromigration</subfield><subfield code="0">(DE-588)4296761-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Leiterbahn</subfield><subfield code="0">(DE-588)4167320-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Aluminium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4001573-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Mechanische Relaxation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4252867-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Relaxationsspektroskopie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4177696-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Metallisierungsschicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4296760-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Aluminium</subfield><subfield code="0">(DE-588)4001573-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Metallisierungsschicht</subfield><subfield code="0">(DE-588)4296760-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Elektromigration</subfield><subfield code="0">(DE-588)4296761-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Mechanische Relaxation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4252867-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Relaxationsspektroskopie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4177696-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="1"><subfield code="a">Leiterbahn</subfield><subfield code="0">(DE-588)4167320-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2="2"><subfield code="a">Aluminiumlegierung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4001586-5</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="830" ind1=" " ind2="0"><subfield code="a">Kernforschungsanlage <Jülich>: Berichte der Kernfoschungsanlage Jülich</subfield><subfield code="v">2321</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV007933847</subfield><subfield code="9">2321</subfield></datafield><datafield tag="999" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-003471774</subfield></datafield><datafield tag="883" ind1="1" ind2=" "><subfield code="8">1\p</subfield><subfield code="a">cgwrk</subfield><subfield code="d">20201028</subfield><subfield code="q">DE-101</subfield><subfield code="u">https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV005537093 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-07-09T16:31:18Z |
| institution | BVB |
| language | Undetermined |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-003471774 |
| oclc_num | 246695913 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-29T |
| physical | 82 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1989 |
| publishDateSearch | 1989 |
| publishDateSort | 1989 |
| record_format | marc |
| series | Kernforschungsanlage <Jülich>: Berichte der Kernfoschungsanlage Jülich |
| series2 | Kernforschungsanlage <Jülich>: Berichte der Kernfoschungsanlage Jülich |
| spelling | Vollkommer, Frank Verfasser aut Mechanische Relaxationsspektroskopie an Aluminium-Metallisierungsschichten für die Mikroelektronik vorgelegt von Frank Vollkommer 1989 82 S. Ill., graph. Darst. txt rdacontent n rdamedia nc rdacarrier Kernforschungsanlage <Jülich>: Berichte der Kernfoschungsanlage Jülich 2321 Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1989. - Auch als: Jül 2321 Aluminiumlegierung (DE-588)4001586-5 gnd rswk-swf Elektromigration (DE-588)4296761-2 gnd rswk-swf Leiterbahn (DE-588)4167320-7 gnd rswk-swf Aluminium (DE-588)4001573-7 gnd rswk-swf Mechanische Relaxation (DE-588)4252867-7 gnd rswk-swf Relaxationsspektroskopie (DE-588)4177696-3 gnd rswk-swf Metallisierungsschicht (DE-588)4296760-0 gnd rswk-swf (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Aluminium (DE-588)4001573-7 s Metallisierungsschicht (DE-588)4296760-0 s Elektromigration (DE-588)4296761-2 s Mechanische Relaxation (DE-588)4252867-7 s DE-604 Relaxationsspektroskopie (DE-588)4177696-3 s Leiterbahn (DE-588)4167320-7 s Aluminiumlegierung (DE-588)4001586-5 s 1\p DE-604 Kernforschungsanlage <Jülich>: Berichte der Kernfoschungsanlage Jülich 2321 (DE-604)BV007933847 2321 1\p cgwrk 20201028 DE-101 https://d-nb.info/provenance/plan#cgwrk |
| spellingShingle | Vollkommer, Frank Mechanische Relaxationsspektroskopie an Aluminium-Metallisierungsschichten für die Mikroelektronik Kernforschungsanlage <Jülich>: Berichte der Kernfoschungsanlage Jülich Aluminiumlegierung (DE-588)4001586-5 gnd Elektromigration (DE-588)4296761-2 gnd Leiterbahn (DE-588)4167320-7 gnd Aluminium (DE-588)4001573-7 gnd Mechanische Relaxation (DE-588)4252867-7 gnd Relaxationsspektroskopie (DE-588)4177696-3 gnd Metallisierungsschicht (DE-588)4296760-0 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4001586-5 (DE-588)4296761-2 (DE-588)4167320-7 (DE-588)4001573-7 (DE-588)4252867-7 (DE-588)4177696-3 (DE-588)4296760-0 (DE-588)4113937-9 |
| title | Mechanische Relaxationsspektroskopie an Aluminium-Metallisierungsschichten für die Mikroelektronik |
| title_auth | Mechanische Relaxationsspektroskopie an Aluminium-Metallisierungsschichten für die Mikroelektronik |
| title_exact_search | Mechanische Relaxationsspektroskopie an Aluminium-Metallisierungsschichten für die Mikroelektronik |
| title_full | Mechanische Relaxationsspektroskopie an Aluminium-Metallisierungsschichten für die Mikroelektronik vorgelegt von Frank Vollkommer |
| title_fullStr | Mechanische Relaxationsspektroskopie an Aluminium-Metallisierungsschichten für die Mikroelektronik vorgelegt von Frank Vollkommer |
| title_full_unstemmed | Mechanische Relaxationsspektroskopie an Aluminium-Metallisierungsschichten für die Mikroelektronik vorgelegt von Frank Vollkommer |
| title_short | Mechanische Relaxationsspektroskopie an Aluminium-Metallisierungsschichten für die Mikroelektronik |
| title_sort | mechanische relaxationsspektroskopie an aluminium metallisierungsschichten fur die mikroelektronik |
| topic | Aluminiumlegierung (DE-588)4001586-5 gnd Elektromigration (DE-588)4296761-2 gnd Leiterbahn (DE-588)4167320-7 gnd Aluminium (DE-588)4001573-7 gnd Mechanische Relaxation (DE-588)4252867-7 gnd Relaxationsspektroskopie (DE-588)4177696-3 gnd Metallisierungsschicht (DE-588)4296760-0 gnd |
| topic_facet | Aluminiumlegierung Elektromigration Leiterbahn Aluminium Mechanische Relaxation Relaxationsspektroskopie Metallisierungsschicht Hochschulschrift |
| volume_link | (DE-604)BV007933847 |
| work_keys_str_mv | AT vollkommerfrank mechanischerelaxationsspektroskopieanaluminiummetallisierungsschichtenfurdiemikroelektronik |