Putzar, R. (1991). Auflösungsgrenzen bei der Reparatur klarer Defekte auf Masken für die Röntgenstrahllithographie mittels laserinduzierter Abscheidung.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Putzar, Renate. Auflösungsgrenzen Bei Der Reparatur Klarer Defekte Auf Masken Für Die Röntgenstrahllithographie Mittels Laserinduzierter Abscheidung. 1991.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Putzar, Renate. Auflösungsgrenzen Bei Der Reparatur Klarer Defekte Auf Masken Für Die Röntgenstrahllithographie Mittels Laserinduzierter Abscheidung. 1991.
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