Zweites Symposium Mikrosystemtechnik: 19. - 20. Februar 1992 Regensburg
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Regensburg
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TECHNISCHE NNTORMATI0NSBI8LI0THEK 19. - 20. FEBRUAR 1992 REGENSBURG
INHALTSVERZEICHNIS SEITE ZUM ABLAUF DES SYMPOSIUMS 9 PROGRAMM ZUM
ZWEITEN SYMPOSIUM MIKROSYSTEMTECHNIK 11 MIKROSYSTEMTECHNIK IN DER
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ZEICHENGENE- RATORENFUER HOSCHLEISTUNGSDRUCKER DIPL-ING. GEORG FROEHLICH
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INTEGRIERT-OPTISCHES LAENGENMESSSYSTEM DR. ERIKA RUSKE, W. MERKER, K. MOEHR
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VORWETT- BEWERBLICHER VERBUNDPROJEKTE DIPL.-ING. RUEDIGER ESCHENBACH
VDI/VDE-IT, BERLIN 223 BERECHNUNG DREIDIMENSIONALER TEMPERATURFELDER
BEIM ANIODISCHEN BONDEN MITTELS DER FLNITEN- ELEMENT-METHODE DR.
JUERGEN UHLEMANN, THOMAS VORBERG TECHNISCHE UNIVERSITAET DRESDEN, INST. F.
BIOMED. TECHNIK 229 GEROETESYSTEM ZUM MEHREBENEN-WAFERBONDEN - ANODIC
BONDING, SILICON DIRECT BONDING - AUF DER GRUND- LAGE DES BONDALIGNERS
BAL 6 DIPL-ING. JUERGEN TITTEL ELECTRONIC VISIONS CO.,
SCHAERDING(OSTERREICH) 237 DER VORTEILHAFTE EINSATZ DER HYBRID-TECHNIK
ZUR LOESUNG VON ENTWICKLUNGSPROBLEMEN IM WISSEN- SCHAFTLICHEN GERAETEBAU
DR.RER.NAT. VOLKER HONIG, K.-H. SEGSA, M. MANECK SPREE HYBRID &
KOMMUNIKATIONSTECHNIK GMBH, BERTIN-SCHOENEWEIDE 243 DER VORTEILHAFTE
EINSATZ DER HYBRID-TECHNIK ZUR LOESUNG VON ENTWICKLUNGSPROBLEMEN IN DER
NACH- RICHTENTECHNIK DR.RER.NAT. VOLKER HONIG, K.-H. SEGSA, M. MANECK
SPREE HYBRID & KOMMUNIKATIONSTECHNIK GMBH, BERTIN-SCHOENEWEIDE 251
AKTIVES MIKROMECHANISCHES VENTIL DIPL-ING. JUERGEN JOSWIG TECHNISCHE
UNIVERSITAET DRESDEN, INST. F. BIOMED. TECHNIK 255 MODELLIERUNG DER
UBERTRAGUNGSFUNKTION MONOLITHISCH INTEGRIER- TER SPULEN FUER INDUKTIVE
IDENTIFIKATIONSSYSTEME DIPL.-PHYS. REINHARD JURISCH M1CR0-SENSYS GMBH,
ERFURT 263 FACHAUSSTELLERTISTE 269 POSTERAUSSTEUEERTISTE 273
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