Beschichten mit Hartstoffen:
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Düsseldorf
VDI-Verl.
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Inhaltsverzeichnis
Härtemechanismen in Hartstoffschichten . 1
Kriterien für die anwendungsbezogene Auswahl von
Hartstoffschichten . 19
Hartstoffschichten in der Mikroelektronik . 40
Anforderungen an dekorative harte Schichten . 51
Eigenspannungsmessungen an Hartstoffschichten . 79
Probleme der Lohnbeschichtung - Qualitätssicherung . 100
Die PVD-Beschichtung aus der Sicht des Werkstoffherstellers . 106
Silbernes TiN durch Magnetronsputtern und seine
Anwendungsbeispiele . 121
Das unbalancierte Magnetron . 129
Plasmanitrieren von Titan und Titanlegierungen . 163
Oberflächenbehandlung von Tl-Werkstoffen mit
COj-Hochleistungslasern . 176
Ionenstrahlmischen von Hartstoffschichten . 188
Moderne Entwicklungen auf dem Gebiet der CVD-Beschichtung
von Hartmetallen .205
MOCVD für Hartstoffe .221
Plasma-CVD-Beschichtung von Hartmetallen .239
Neue Schichtsysteme mit dem ARC-PVD-Verfahren .250
Korrosionsschutz mit PVD-Schichten auf Cr-Basis .263
Korrosionsverhalten von Arc-PVD-Schichten .273
Faktendatenbank für Hartstoffschichten .289
Sachregister . 294
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