Ruge, I., & Mader, H. (1991). Halbleiter-Technologie (3., völlig neubearb. und erw. Aufl.). Springer.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Ruge, Ingolf, und Hermann Mader. Halbleiter-Technologie. 3., völlig neubearb. und erw. Aufl. Berlin [u.a]: Springer, 1991.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Ruge, Ingolf, und Hermann Mader. Halbleiter-Technologie. 3., völlig neubearb. und erw. Aufl. Springer, 1991.
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