Jain, K. (1990). Excimer laser lithography. SPIE Optical Engineering Press.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Jain, Kanti. Excimer Laser Lithography. Bellingham, Wash: SPIE Optical Engineering Press, 1990.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Jain, Kanti. Excimer Laser Lithography. SPIE Optical Engineering Press, 1990.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.