Vakuumtechnik: Grundlagen und Anwendungen ; mit zahlreichen Beispielen und Tabellen
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| Format: | Book |
|---|---|
| Language: | German |
| Published: |
München [u.a.]
Hanser
1991
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Inhaltsverzeichnis |
| Item Description: | Literaturverz. S. 526 - 540 |
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Inhaltsverzeichnis
Zum Geleit...........................
Vorwort.............................
Benutzte Symbole ........................XIX
TEIL
/ Physik des Vakuums (Hartmann, H. K.)............. 3
1 Gasförmiger Zustand der Materie.............. 3
2 Gasgemische, Totaldruck, Partialdruck............ 8
3 Verdampfung, Kondensation................ 10
4 Oberflächenbeläge auf Festkörpern, Sorption......... 14
5 Die Vorstellungen der kinetischen Gastheorie......... 17
6 Geschwindigkeitsverteilung, mittlere freie Weglänge
und Flächenstoßrate der Molekeln im „ruhenden Gas ..... 19
7 Diffusion........................ 22
8 Wärmeübertragung im Gasraum.............. 24
9 Innere Reibung und Viskosität von Gasen.......... 26
10 Elektrizitätsleitung in verdünnten Gasen........... 28
// Vakuummessung (Hartmann, H. K.)............... 30
11 Druckeinheiten und Vakuumbereiche............ 30
12 Bauarten und Funktionsprinzipien der Vakuummeter..... 32
12.1 Mechanische Vakuummeter.............. 33
12.1.1
12.1.2 Membran
12.1.3 Reibungsvakuummeter............. 36
12.1.4
12.2 Wärmeleitungsvakuummeter.............. 37
12.3 Ionisationsvakuummeter ............... 39
13 Kalibrieren von Vakuummetern............... 44
13.1 Primäre Normale................... 44
13.2 Gasreibungs-Vakuummeter mit rotierender Kugel..... 48
14 Partialdruckmessung................... 50
14.1 Ionenerzeugung................... 50
14.2 Ionentrennung.................... 51
X
14.3 Ionennachweis....................53
14.4 Betriebsbereiche und Gaseinlaß ............55
14.5 Beispiel einer Restgasanalyse..............55
III
15 Die Wirkungsweisen von verschiedenen Vakuumpumpen .... 58
16 Bauarten und Betriebsverhalten der Vakuumpumpen
und Evakuierungshilfen.................. 62
16.1 Verdrängerpumpen.................. 62
16.1.1 Verdrängerpumpen mit flüssigem Dichtmedium . . . 62
16.1.2 Trockenlaufende Verdränger-Vakuumpumpen ... 65
16.2 Kinetische Vakuumpumpen.............. 70
16.2.1 Strahl-und Diffusionspumpen.......... 70
16.2.2 Molekularpumpen............... 76
16.3 Gasbindende Pumpen und Evakuierungshilfen...... 82
16.3.1 Adsorptionspumpen.............. 82
16.3.2 Getterpumpen................. 84
16.3.3 Kondensatoren ................ 88
16.3.4 Kühlfallen und Dampfsperren.......... 89
16.3.5 Kryopumpen
17 Saugvermögen, pV-Durchfluß, Saugleistung, Betriebsdruck
und Enddruck; Kenngrößen von Vakuumpumpen....... 100
18 Leitwerte, effektives Saugvermögen und Strömungsarten . . . .103
19 Dosieren und Messen kleiner Gasmengen und -Ströme..... 109
IV
20 Eigenschaften und nicht lösbare Verbindungen von Werkstoffen . 114
20.1 Vakuumdichte, nicht lösbare Verbindungen an Metall,
Glas und Keramik.................. 119
20.2 Hart- und Weichlöten von Metallen........... 120
20.3 Verschmelzen von Gläsern............... 121
20.4 Verlöten von Metall mit Keramik............ 122
20.5 Gebrauch von Kleblacken und Gießharzen........ 124
21 Bauteile der Vakuumleitungen und -kammern......... 125
V
22 Vorreinigung (Lamprecht, R.)...............140
23 Inbetriebsetzung (Hartmann,
Inhaltsverzeichnis
24 Auspumpzeiten (Hartmann, H. K.)............. 145
25 Lecksuche (Huber, W. K.)................. 151
25.1 Allgemeine Kriterien................. 151
25.2 Lecksuchmethoden.................. 152
25.3 Lecksuchgeräte ................... 154
26 Entgasung (Lamprecht, R.)................ 158
27 Stillsetzung (Hartmann, H.K.)............... 160
28 Instandhaltung (Hartmann, H. K.)............. 161
VI
29 Unterlagen für Entwurf und Konstruktion von Vakuumanlagen . 164
30 Werkstoffe für Vakuumkammern.............. 166
31 Räumliche Anordnung der Teile einer Vakuumanlage..... 168
32 Vakuumkammern..................... 170
33 Kombinationen von Vakuumpumpen............ 172
33.1 Allgemeines..................... 172
33.2 Beispiele für Reihenschaltung von Vakuumpumpen . . . .176
33.2.1 Ölgedichtete Rotationsverdrängerpumpen..... 176
33.2.2 Turbomolekularpumpen............. 178
33.2.3 Öl-Diffusionspumpe mit Vorpumpe........ 178
33.2.4 Wälzkolbenvakuumpumpen........... 179
33.2.5 Kondensatoren ................ 184
33.3 Beispiele für Parallelschaltung von Vakuumpumpen . . . .186
34 Gebrauch der Vakuummeter................ 188
35 Sicherheits-, Regel- und Steuereinrichtungen, Automatisierung . 191
36 Aufstellen von Zeitplänen vakuumtechnischer Verfahren..... 193
37 Kostenfragen....................... 195
VII
38 Einsatz und Voraussetzungen................ 196
39 Werkstoffeigenschaften.................. 198
40 Zusammenbau und Betrieb von UHV-Anlagen........ 201
41 Einige Besonderheiten von Komponenten für die UHV-Technik . 203
42 UHV-Pumpsysteme.................... 205
43 Rechenbeispiel zur Auspumpzeit einer UHV-Anlage...... 209
44 Druckmessung, Restgaszusammensetzung, Ausblick...... 211
XII Inhaltsverzeichnis
TEIL
VIH
45 Beispiele aus der Technik der Elektronenröhren........215
45.1 Einleitung (Jäger, G., 45.1 bis 45.7)..........215
45.2 Spezielle Techniken..................216
45.2.1 Trennung der Röhre vom Pumpstand.......216
45.2.2 Prüfung der Vakuumdichtigkeit.........218
45.3 Empfängerröhren ..................219
45.3.1 Aufbau.................... 219
45.3.2 Pumpkarussell................. 219
45.3.3 Brennen ................... 222
45.3.4 Folgen von Vakuumfehlern........... 222
45.4 Hochleistungsklystrons, Dauerstrichmagnetrons,
Senderöhren..................... 222
45.4.1 Aufbau und Anwendung............222
45.4.2 Bemerkungen zu den Werkstoffen
und Reinigungsprozessen............227
45.4.3 Pump- und Ausheizvorgang...........229
45.4.4 Folgen von Vakuumfehlern...........230
45.5 Fernsehbildröhren, Oszilloskopröhren..........230
45.5.1 Aufbautechnik von Fernsehbildröhren ...... 230
45.5.2 Pumpen und Formieren von Fernsehbildröhren . . . 232
45.5.3 Oszilloskopröhren............... 232
45.6 Kameraröhren.................... 233
45.6.1 Aufbautechnik................. 233
45.6.2 Pump- und Formiervorgang........... 235
45.6.3 Folgen von Vakuumfehlern........... 235
45.7 Bildverstärkerröhren................. 235
45.7.1 Aufbau und Anwendungen...........235
45.7.2 Pump- und Formierprozeß ...........237
45.7.3 Vakuumtechnische Probleme...........238
45.8 Herstellung einer Röntgenröhre mit Drehanode
(Reiber, K.).....................238
46 Elektrische Licht- und Strahlungsquellen (Lange, H.).....241
46.1 Glühlampen.....................241
46.2 Leuchtstofflampen..................243
46.3 Hochdruckentladungslampen .............244
47 Der Vakuumleistungsschalter (Adam, H.) ..........246
47.1 Vakuum als Isolator und Löschmedium.........246
47.2 Grundsätzlicher Aufbau des Vakuumleistungsschalters
(Schaltröhre) ....................247
Inhaltsverzeichnis XIII
47.3 Der Schalter mit geschlossenem Kontakt.........248
47.4 Die Stromunterbrechung...............248
47.5 Das Kontaktmaterial.................249
48 Trocknungs- und Imprägnieranlagen für Starkstromkabel
(Мекота,
49 Imprägnierung elektrischer Hochspannungsgeräte (Mais, G.) . . 256
IX
50 Vakuumtechnik in der Chemie (Jorisch, W.).........260
50.1 Einleitung......................260
50.2 Grundlagen der Vakuumverfahren in der Chemie.....262
50.3 Vakuumpumpen im Chemieeinsatz...........263
50.3.1 Flüssigkeitsring-Vakuumpumpen im Chemieeinsatz . 263
50.3.2 Ölgedichtete Dreh- und Sperrschieberpumpen
für den Chemieeinsatz .............264
50.3.3 Wälzkolben-Vakuumpumpen für den Chemieeinsatz . 266
50.3.4 Pumpenkombinationen im Chemieeinsatz.....267
50.3.5 Dampf strahl-Vakuumpumpen für die Chemie . . . 267
50.4 Einige spezielle Beispiele für Vakuumanwendungen
in der Chemie.................... 268
50.4.1 Vakuumtrocknung............... 268
50.4.2 Vakuumverdampfung.............. 271
50.4.3 Vakuumrektifikation.............. 272
51 Trocknung und Entgasung (Frei, M.)............274
51.1 Allgemeines.....................274
51.2 Trocknungsvorgänge in kapillarporösen
und nichtporigen Gütern...............274
51.3 Trocknungsverfahren.................275
51.4 Mikrowellenerwärmung................276
51.5 Vakuumtrocknung und Mikrowellenerwärmung .....278
52 Gefriertrocknung (Schäfer, M.)..............280
53 Vakuummetallurgie....................286
53.1 Vakuummetallurgie im flüssigen Zustand
(Choudhury, A.)..................286
53.1.1 Vakuumbehandlung des flüssigen Stahles.....287
53.1.2 Teilmengenentgasung..............287
53.1.3 Pfannenstandentgasung.............289
53.1.4 Vakuuminduktionsschmelzen ..........290
53.1.5 Produktion von NE-Metallen
im Vakuuminduktionsofen............291
XIV Inhaltsverzeichnis
53.1.6 Umschmelzprozesse .............. 292
53.1.7 Umschmelzen im Vakuumlichtbogenofen..... 292
53.1.8 Elektronenstrahlschmelzen und-gießen...... 293
53.1.9 Präzisionsguß................. 294
53.1.10 Pulvermetallurgie............... 294
53.2 Vakuummetallurgische Verfahren für Festkörper
(Hofmann, G.) ................... 295
53.2.1 Entgasen................... 295
53.2.2 Blankglühen.................. 299
53.2.3 Wärmebehandlung............... 299
53.2.4 Löten .................... 302
53.2.5 Diffusionsschweißen.............. 303
53.2.6 Sintern.................... 304
53.2.7 Chemische Reaktionen............. 307
54 Schweißen mit Elektronenstrahlen (Dietrich, W.).......312
X
55 Vakuumtechnik in der Raumfahrt (Schütz, H.)........317
55.1 Weltraumbedingungen und Raumfahrt......... 317
55.2 Anlagen zur Simulation der Missionsbedingungen..... 318
55.3 Vakuumtechnik bei den Raumfahrzeugen........ 323
55.4 Nutzung des Weltraumes für Vakuum-Anwendungen 325
56 Vakuumphysikalische Grundlagen von Molekularstrahl-
Experimenten (Seidel, W/v. Zerrsen, H. D.).........328
56.1 Zusammenstellung der Volumenströme
bei
(Internationale Einheiten)...............331
56.2 Zusammenstellung der Volumenströme bei Düsen¬
oder Hochdruck-Mehrkanalquellen...........332
57 Kernphysikalische Großanlagen...............333
57.1 Teilchenbeschleuniger und Speicherringe
(Hartmann, H.K.).................. 333
57.1.1 Allgemeine Aspekte .............. 333
57.1.2 Energieaspekte................. 335
57.1.3 Restgaseinfluß................. 339
57.1.4 Desoiptionsmechanismen und Synchrotronstrahlung . 339
57.1.5 Perspektiven.................. 342
57.2 DESY-Beschleuniger und Vakuumtechnik
(Hartmann,
57.2.1 Die Synchrotrons...............344
57.2.2 Die Speicherringe...............350
Inhaltsverzeichnis
57.3 Die Beschleuniger des CERN (Gröbner, O.)....... 364
57.3.1 Ringbeschleuniger für Protonen......... 364
57.3.2 Wechselwirkung zwischen Teilchenstrahl und Restgas 367
57.3.3 Der
58 Vakuumprobleme der thermischen Kernfusion (Hemmerich, J.) . 374
58.1 Physikalische Grundlagen...............374
58.2 Vakuumprobleme bei JET...............376
58.2.1 Vakuumanlagen am JET-Torus..........377
58.2.2 Vakuumanlagen an der JET-Neutralinjektion .... 378
58.2.3 Vorbereitungen für den Betrieb von JET
mit D-T-Plasmen................379
58.3 Vakuumanlagen für einen zukünftigen Fusionsreaktor . . . 380
XI
59 Methoden der Schichterzeugung ..............382
59.1 Einführung (Pulker, H. K.)..............382
59.2 Physikalische Dampfabscheidung ~ PVD
(Pulker, H. K.)...................384
59.3 Chemische Dampfabscheidung~CVD
59.3.1 Allgemeines..................393
59.3.2 PE-CVD: Plasmagestützte chemische
Dampfabscheidung...............394
59.3.3 Plasmaerzeugung und gleichmäßige Schicht .... 397
59.4 Automatisierung von Beschichtungsanlagen
(Reinhold, D. M.).................. 399
59.4.1 Einleitung................... 399
59.4.2
59.4.3 Verfahrensablauf................ 400
59.4.4 Anlagensteuerung............... 400
59.4.5 Automatisierung................ 401
59.4.6 Software................... 401
60 Metallische Schichten (Kienel, G.).............403
60.1 Metallisieren von Kunststofformteilen..........403
60.2 Beschichten von Papier und Kunststoffolien.......405
61 PVD-Verschleißschutzschichten...............410
61.1 Hartstoffschichten für Werkzeuge und Bauteile (Buhl, R.) . 410
61.2 Anwendung dekorativer Verschleißschutzschichten
(Bergmann, E.)...................412
61.2.1 Einführung..................412
61.2.2 Tribologische Systeme .............412
61.2.3 Beschichtungssysteme, Stand und Trends.....414
XVI Inhaltsverzeichnis
62 Schichten mit optischer Wirkung.............. 415
62.1 Optische Schichtsysteme (Pulker, H. K.)........ 415
62.2 Reaktive und ionenunterstützte reaktive Herstellung
von Oxid-, Nitrid- und Oxinitrid-Schichten
für optische Anwendungen (Pulker, H. K.)....... 420
62.3 Beschichten großer Glasflächen mit Sonnenschutz¬
oder Wärmedämmschichten (Kienel, G.)........ 423
62.4 Leitfähige transparente Schichten
62.4.1 Anwendung.................. 427
62.4.2 Schichttypen ................. 427
62.4.3 Elektrische und optische Eigenschaften...... 428
62.4.4 Herstellung von transparenten leitfähigen Schichten . 430
63 Datenspeichersysteme................... 431
63.1 Magnetische Speicher (Wirz, P.)............ 431
63.2 Optische und magnetooptische Speicherung
(Selhofer, H.).................... 436
63.2.1 Einleitung................... 436
63.2.2 Prinzip der optischen Speicher.......... 436
63.2.3 Nur lesbare optische Speicher.......... 437
63.2.4 Einmal beschreibbare optische Speicher...... 438
63.2.5 Mehrmals beschreibbare optische Speicher..... 439
63.2.6 Zusammenfassung............... 441
63.3 Die
64 Halbleitertechnologie................... 446
64.1 Vakuumtechnik bei Züchtungsprozessen von Einkristallen
aus der Schmelze (Drechsel, D.)............ 446
64.2 Ionenimplantation (Körber, F. J.)............ 450
64.3 Epitaxie (Moll, E.) ................. 453
64.4 Herstellung von Leiterbahnen und Reduktion
von Bahnwiderständen in höchstintegrierten
Bauelementen (Kassing, R./Rangelow,
64.4.1 Aluminium als Leiterbahn- und Kontaktmaterial . . 459
64.4.2 Polycide ................... 462
64.4.3 Salicide.................... 463
64.4.4 Verbindungen zwischen den Bauelementen..... 465
64.5 Großflächige plasmaunterstützte Abscheidung
aus der Gasphase - Amorphes Silizium und andere
Dünnfilm-Anwendungen (Reuschling, R.) ....... 466
64.5.1 Einführung.................. 466
64.5.2 Dünnfilm-Solarzellen.............. 471
64.5.3 Dünnschichttechnologie zur Bilderzeugung..... 472
Inhaltsverzeichnis XVII
64.6 Trockenätzen zur Strukturierung von Mikroschaltkreisen
(Hussla,
64.6.1 Grundlagen.................. 474
64.6.2 Strukturerzeugung von Mikroschaltkreisen..... 478
64.6.3 Einzelscheiben-Dreikammer-Plasmaätzanlage
für Aluminium-Leiterbahnen........... 479
64.7 Sicherheit und Entsorgung (Tenwick, N. u. Hussla,
64.7.1 Gefahren beim Betrieb............. 481
64.7.2 Reparatur-Risiken............... 483
64.7.3 Schutz der Umwelt............... 484
Xli Oberflächenanalyse......................487
65 Analyse von Oberflächen und dünnen Schichten........487
65.1 Allgemeines (Schalch, D./Scharmann, A.).......487
65.2 Elektronenspektrometrie (Schalch, D./Scharmann, A.) . . 492
65.2.1 Auger-Elektronenspektrometrie (AES) ......492
65.2.2 Photoelektronenspektrometrie
65.2.3 Elektronen-Energieverlustspektrometrie
(ELS,
65.3 Massenspektrometrie (Wechsung, R.)..........496
65.3.1 Sekundär-Ionen-Massen-Spektrometrie (SIMS) . . . 496
65.3.2 Sekundär-Neutralteilchen-Massen-
Spektrometrie (SNMS).............499
65.3.3 Laser-Mikrosonden-Massen-Analyse (LAMMA) . . 502
65.4 Bestimmung von Oberflächenstrukturen
(Schalch, D./Scharmann, A.)............. 504
65.4.1 Beugung langsamer Elektronen
65.4.2 Raster-Tunnelmikroskop............ 505
65.4.3 Elektronenmikroskopie............. 506
Anhang..............................509
Tabellen und Tafeln (Druckeinheiten, Phys. Konstanten,
Stoff-und Elementeigenschaften, Normen, Symbole, Pumpenübersicht) . .511
Autorenverzeichnis.........................524
Literaturverzeichnis.........................526
Stichwortverzeichnis........................541
|
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| building | Verbundindex |
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| discipline | Maschinenbau / Maschinenwesen Physik Maschinenbau |
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