Herstellung von mikromechanischen Beschleunigungssensoren in LIGA-Technik:
Gespeichert in:
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| Format: | Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Karlsruhe
Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH
1991
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Kernforschungszentrum <Karlsruhe>: KfK
4859 |
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| Beschreibung: | Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. von C. Burbaum. - Zsfassung in engl. Sprache |
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