Herstellung von mikromechanischen Beschleunigungssensoren in LIGA-Technik - Burbaum, C.; Mohr, J. (Kernforschungszentrum Karlsruhe GmbH, 1991)
Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. von C. Burbaum. - Zsfassung in engl. Sprache