Ehrhardt, D. (1985). Elektronenstrahlbelichtung mit Kompensation des Proximiteffekts.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Ehrhardt, Dietmar. Elektronenstrahlbelichtung Mit Kompensation Des Proximiteffekts. 1985.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Ehrhardt, Dietmar. Elektronenstrahlbelichtung Mit Kompensation Des Proximiteffekts. 1985.
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