Schäffer, P. (1991). Elektronenstrahl-Lithographiegerät mit Kammsonde.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Schäffer, Peter. Elektronenstrahl-Lithographiegerät Mit Kammsonde. 1991.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Schäffer, Peter. Elektronenstrahl-Lithographiegerät Mit Kammsonde. 1991.
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