Oberflächenphysik des Festkörpers:
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Stuttgart
Teubner
1991
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INHALT
1
1.1
1.2
2
2.1
2.2
2
.
2.1
2
.
2.2
2.2.3
2.2.4
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2.4.2
2.4.3
2.4.4
2.4.5
3
3.1
3.2
3.3
3.4
EINFUEHRUNG 1
WAS IST OBERFLAECHENPHYSIK?. 1?
ENTWICKLUNG UND METHODIK DER OBERFLAECHENPHYSIK . . 27
EXPERIMENTELLE VORAUSSETZUNGEN UND HILFSMITTEL 35
TEILCHENTRANSPORT IM ULTRAHOCHVAKUUM (UHV) . 35
ULTRAHOCHVAKUUMTECHNOLOGIE. 41
VAKUUM-MATERIALIEN. 41
EINFACHE BAUTEILE. 45
PUMPEN. 47
DRUCKMESSUNG. 52
TYPISCHER AUFBAU VON UHV-APPARATUREN. 58
HERSTELLUNG DEFINIERTER, EINFACHER OBERFLAECHEN . 62
PRAEPARATION VON EINKRISTALLEN. 62
HERSTELLUNG VON AUFDAMPFSCHICHTEN. 66
HAEUFIG VERWENDETE SPEKTROMETERKOMPONENTEN . 68
UEBERSICHT. 68
ELEKTRONEN- UND PHOTONENQUELLEN 69
MONOCHROMATOREN UND FILTER FUER PHOTONEN UND
ELEKTRONEN. 73
DETEKTOREN. 83
NEUTRALTEILCHEN- UND IONENSTRAHL-SPEKTROMETER . 84
GEOMETRISCHE STRUKTUR VON OBERFLAECHEN 87
UEBERSICHT UEBER MOEGLICHE ANORDNUNGEN VON ATOMEN
AN DER OBERFLAECHE. 87
MATHEMATISCHE BESCHREIBUNG VON KRISTALL-OBERFLAECHEN 89
EXPERIMENTELLE VERFAHREN UND IHRE PRINZIPIELLEN
GRENZEN. 97
DIREKTE ABBILDUNG DER OBERFLAECHE.103
BIBLIOGRAFISCHE INFORMATIONEN
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INHALT 7
3.5
3.6
3.7
3.8
3.8.1
3.8.2
3.8.3
3.8.4
3.8.5
3.9
4.1
4.1.1
4.1.2
4.2
4.2.1
4.2.2
4.3
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4.5.1
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4.5.4
4.5.5
4.6
124
131
147
159
159
163
167
175
BEUGUNGSBILDER VON ZWEIDIMENSIONALEN PERIODISCHEN
STRUKTUREN.
BEUGUNG MIT ELEKTRONEN-, ROENTGEN- UND ATOMSTRAHLEN
AUSWERTUNG DES BEUGUNGSBILDES: PERIODIZITAET UND
INTENSITAET.
DEFEKTSTRUKTUREN .
KINEMATISCHE NAEHERUNG .
REGELMAESSIGE ANORDNUNGEN.
UNREGELMAESSIGE ANORDNUNGEN.
UEBERSICHT UEBER MESSMOEGLICHKEITEN MIT LEED
DEFEKTANALYSE MIT HILFE DER BEUGUNG VON ATOMSTRAHLEN 177
STRUKTURUNTERSUCHUNG MIT IONENSTRAHLEN.179
ELEKTRONISCHE UND VIBRONISCHE STRUKTUR VON OBERFLAECHEN 191
ELEKTRONISCHE UND VIBRONISCHE OBERFLAECHENZUSTAENDE 192
ALLGEMEINE BESCHREIBUNG.^2
GRUNDLAGEN UND BEISPIELE FUER DIE BERECHNUNG VON OBER
FLAECHENZUSTAENDEN .
OBERFLAECHEN IM ELEKTRONISCHEN GLEICHGEWICHT . .
AUSTRITTSARBEIT .
RAUMLADUNGSRANDSCHICHTEN IN HALBLEITERN .
TRANSPORTVORGAENGE UND NICHTGLEICHGEWICHTE . . .
DEFINITIONEN UND BEGRIFFE.
LEITUNG IN BAENDERN VON OBERFLAECHENZUSTAENDEN . .
LEITUNG IN DER RAUMLADUNGSSCHICHT .
FELDEFFEKT.
NICHTGLEICHGEWICHTE DURCH ELEKTRISCHE FELDER UND
BELEUCHTUNG.
UEBERSICHT UEBER SPEKTROSKOPISCHE METHODEN . . YY
SPEKTROSKOPIE IM BEREICH DER RUMPFELEKTRONEN
ROENTGENPHOTO EMISSION (XPS).
STREUEXPERIMENTE MIT PHOTOELEKTRONEN.
AUGERELEKTRONENSPEKTROSKOPIE (AES).
GEOMETRISCHE ABBILDUNGEN MIT PHOTONEN UND AUGER
ELEKTRONEN .
TIEFENPROFILANALYSE.
SPEKTROSKOPIE IM BEREICH DER VALENZELEKTRONEN
203
216
216
230
239
239
243
244
249
252
254
264
264
277
283
285
286
287
8 INHALT
4.6.1 GRUNDLAGEN DER UV-PHOTOEMISSION (UPS) .287
4.6.2 PHOTOEMISSION AN ATOMEN UND MOLEKUELEN.293
4.6.3 PHOTOEMISSION AN FREIEN OBERFLAECHEN.298
4.6.4 PHOTOEMISSION AN OBERFLAECHEN MIT ADSORBATEN . 305
4.6.5 ELEKTRONENENERGIEVERLUSTSPEKTROSKOPIE.312
4.6.6 INVERSE PHOTOEMISSION UND ZWEI-PHOTONEN-PHOTO-
OL O
EMISSION .
4.6.7 OPTISCHE ABSORPTION, PHOTOLEITUNG UND PHOTOSPANNUNG 326
4.7 SCHWINGUNGSSPEKTROSKOPIE .332
4.7.1 SCHWINGUNGSSPEKTROSKOPIE MIT ELEKTRONEN.334
4.7.2 INELASTISCHE ATOMSTREUUNG.345
4.7.3 INFRAROTABSORPTION.348
5 WECHSELWIRKUNGEN VON TEILCHEN MIT OBERFLAECHEN 354
5.1 BESTIMMUNG DER BEDECKUNG UND ADSORPTIONSRATE VON
TEILCHEN AN FESTKOERPEROBERFLAECHEN. . 355
5.1.1 CHEMISCHE ANALYSE DER OBERFLAECHE UEBER MASSENBESTIM
MUNG DESORBIERENDER TEILCHEN.355
5.1.2 CHEMISCHE ANALYSE DER OBERFLAECHE UEBER ELEKTRONISCHE
UND VIBRONISCHE ZUSTAENDE.356
5.1.3 CHARAKTERISIERUNG VON OBERFLAECHENBEDECKUNGEN UEBER
UNSPEZIFISCHE PHAENOMENOLOGISCHE MESSGROESSEN . 357
5.1.4 BESTIMMUNG DER ADSORPTIONSRATE VON TEILCHEN AN
OBERFLAECHEN.38^
5.2 UEBERSICHT VERSCHIEDENER FESTKOERPER/GAS-WECHSEL-
WIRKUNGEN .388
5.2.1 PROBLEMSTELLUNG.388
5.2.2 VERSCHIEDENE WECHSELWIRKUNGSMECHANISMEN ZWISCHEN
TEILCHEN UND FESTKOERPEROBERFLAECHEN.
383
5.2.3 THERMODYNAMISCH UND KINETISCH KONTROLLIERTE
EXPERIMENTE.388
5.2.4 EXZESSGROESSEN AN DER OBERFLAECHE.
3?5
5.3 PHAENOMENOLOGISCHE UND STATISTISCHE THERMODYNAMIK
VON FESTKOERPER/GAS-WECHSELWIRKUNGEN.389
5.3.1 ADSORPTIONSISOTHERMEN.390
5.3.2 THERMODYNAMISCHE GRUNDBEGRIFFE.395
5.3.3 THERMODYNAMIK ALLGEMEINER ADSORPTIONSSYSTEME . . 403
5.3.4 VOLUMENREAKTIONEN UND FESTKOERPERTHERMODYNAMIK . . 407
INHALT 9
5.3.5
5.4
5.4.1
5.4.2
5.4.3
5.4.4
5.5
5.5.1
5.5.2
5.6
5.6.1
5.6.2
5.6.3
5.6.4
5.6.5
5.6.6
6
6.1
6.2
6.3
6.4
6.5
6.6
6.7
6.8
7
8
8.1
8.2
8
.
2.1
8
.
2.2
STATISTISCHE MECHANIK VON ADSORPTIONSSYSTEMEN .
KINETIK VON FESTKOERPER/GAS-WECHSELWIRKUNGEN . .
UEBERSICHT.
ADSORPTION UND AKKOMODATIONSKOEFFIZIENTEN . .
DESORPTION.
OBERFLAECHENDIFFUSION ADSORBIERTER TEILCHEN . . . .
THERMODYNAMISCH UND KINETISCH BESTIMMTE OBERFLAE
CHENSTRUKTUREN .
ADSORBATE AUF INERTER UNTERLAGE.
VERDAMPFUNG UND TEILCHENTRANSPORT AN FREIEN FEST
KOERPEROBERFLAECHEN .
ADSORPTION AN FESTKOERPEROBERFLAECHEN.
UEBERSICHT.
PHYSISORPTION.
CHEMISORPTION UND KOORDINATIONSCHEMIE.
CHEMISORPTION AN METALLEN.
CHEMISORPTION AN IDEALEN HALBLEITERN.
CHEMISORPTION AN HALBLEITERN MIT DEFEKTEN . . . .
ANWENDUNGSBEISPIELE AUS DER ALLGEMEINEN
MATERIALFORSCHUNG
413
420
420
421
427
440
444
445
445
450
450
454
459
473
482
499
519
DIE ZENTRALE PROBLEMSTELLUNG: KONTROLLIERTE GRENZFLAECHEN 519
SENSORIK.
KATALYSE.
ANWENDUNG DUENNER SCHICHTEN . .
MIKRO- UND OPTOELEKTRONIK . . .
KERAMIK UND HOCH-TC-SUPRALEITUNG
MOLEKULARELEKTRONIK.
BIOTECHNOLOGIE UND MEDIZINTECHNIK
LITERATUR
ANHANG
DREIDIMENSIONALE BANDSTRUKTUR
ZOO DER FESTKOERPER-,,ONEN" . . .
PHONONEN .
PLASMONEN.
522
530
534
538
546
548
553
556
587
587
591
591
593
10 INHALT
8.2.3 EXZITONEN.
8.2.4 POLARITONEN.
8.2.5 MAGNONEN
8.2.6 SOLITONEN.YY ' \.
8.2.6.1 SOLITONEN IN DER PHYSIK UND MATHEMATIK.
8.2.6.2 SOLITONEN IN ORGANISCHEN MATERIALIEN.
8.2.7 POLARONEN. .
8.2.7.1 POLARONEN IN ANORGANISCHEN MATERIALIEN.
8.2.7.2 POLARONEN IN HALBLEITENDEN POLYMEREN
8.2.8 BIPOLARONEN.
8.3 PHYSIKALISCHE GROESSEN, EINHEITEN UND NATURKONSTANTEN
8.3.1 BASISGROESSEN UND EINHEITEN.
8.3.2 PHYSIKALISCHE GROESSEN IM SL-SYSTEM
8.3.3 PHYSIKALISCHE KONSTANTEN IM SL-SYSTEM .
8.3.4 DEZIMALE VIELFACHE UND TEILE VON EINHEITEN
8.3.5 DRUCKDIMENSIONEN - UMRECHNUNGSFAKTOREN
8.3.6 ENERGIEDIMENSIONEN - UMRECHNUNGSFAKTOREN
8.3.7 KRAFTDIMENSIONEN - UMRECHNUNGSFAKTOREN .
8.3.8 LADUNGSDIMENSIONEN - UMRECHNUNGSFAKTOREN
8.3.9 DIE FUNKTIONEN KT UND RT IN ABHAENGIGKEIT VON DER
TEMPERATUR.
8.4 DAMPFDRUECKE.
8.5 BILDZEICHEN FUER DIE VAKUUMTECHNIK.
8.6 GEBRAEUCHLICHE OBERFLAECHENUNTERSUCHUNGSMETHODEN .
8.7 ERKLAERUNG DER ABKUERZUNGEN.
8.8 BINDUNGSENERGIEN UND WIRKUNGSQUERSCHNITTE FUER DIE
ROENTGENPHOTOEMISSION
8.9 PERIODENSYSTEM DER ELEMENTE
8.10 AUGER-ELEKTRONEN-ENERGIE.
8.11 SPEZIFIKATIONEN AUSGEWAEHLTER MIKROANALYSEMETHODEN
SACHVERZEICHNIS
593
595
595
596
596
597
598
598
599
600
600
600
601
604
606
606
607
608
608
608
609
. 614
. 617
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. 625
. 627
. 628
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