Richter, F. (1990). Plasmastrahlungsquelle für den industriellen Einsatz in der Röntgenlithographie.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Richter, Franz. Plasmastrahlungsquelle Für Den Industriellen Einsatz in Der Röntgenlithographie. 1990.
MLA-Zitierstil (9. Ausg.)Richter, Franz. Plasmastrahlungsquelle Für Den Industriellen Einsatz in Der Röntgenlithographie. 1990.
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